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浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎支撐。

產品詳細介紹 　　2015，沃柯雷克一代智能晨檢機器人上市 　　至今，已在晨檢機器人領域深耕5年，技術更成熟，累積晨檢數據庫資源更多，機器人經過不斷的學習，分析能力更強。 　　產品從2015年至今已經過5代更新，平均每年更新一款新的晨檢機器人，共計獲得20多項專利;團隊投入更多精力打磨產品，每一代都做到突破性的優(yōu)化。 　　2020，我們更快、更強、更智能 　　3秒即可同步完成測溫、手部、眼部、口部四大項目輔助晨檢。 　　測得全：手口眼溫，我們一個都不少 　　晨檢界的 技術擔當，學習委員;智能程度表現優(yōu)異，手口眼溫全部由機器自行完成 　　溫度：高溫提示、低燒預警 　　手部：紅疹、外傷、黑點、皰疹、污漬 　　口部：紅疹、皰疹、上顎發(fā)紅、蛀牙、咽喉紅腫 　　眼部：發(fā)紅 　　測得準：定位式檢測確保數據準確度 　　精準定位并準確獲取口腔、額頭等關鍵部位，確保晨檢效果，通過《世界zui新醫(yī)學信息文摘》論文驗證 　　測得快：3秒晨檢，一個動作一步完成 　　沃柯雷克是行業(yè)獨有的一步式晨檢，一個動作即可完成4大項目的篩查，比行業(yè)同業(yè)產品效率快3倍以上 　　沃柯雷克晨檢機器人集合精確傳感及人工智能先進技術為幼兒提供入園健康輔助晨檢，只需3秒即可同步完成測溫以及手部、眼部、口部的輔助晨檢，提高晨檢效率。由蘇州沃柯雷克智能系統(tǒng)有限公司全自主研發(fā)、生產的服務于兒童衛(wèi)生保健功能的人工智能裝備。 　　他，夠快 　　■處理器快內置I5 雙核處理器高性能處理器，處理能力強，運算速度快，本地算法實時反饋結果，無網絡傳輸延時; 　　■算法快加載『圖澎思 』AI識別算法，專業(yè)的兒童晨檢識別算法，數據分析速度快，百毫秒級處理效率，榮獲多個專利; 　　■操作快小朋友只需做一個晨檢動作，溫度、口部、手部、眼部四大晨檢項目全部同步完成，無需分解步驟，智能化程度高; 　　■更智能晨檢項目全部由機器人完成，無需老師操作設備拍照或測量數據; 　　他，不只是快 　　■項目全晨檢提示：溫度異常、手口紅疹、皰疹、眼睛發(fā)紅等關懷提示：喉嚨發(fā)紅、蛀牙等 　　■應用廣除了可以輔助晨檢，還可以矯正視力，測量身高、體重、BMI(連接外置設備);離園比對照片，輔助考勤簽到、接送抓拍;播放音樂故事，輔助教學(童趣版); 　　■數據準采用定位式晨檢，所有晨檢項目都精準定位在正確的晨檢部位，如溫度確保來源于額頭眉心，口腔、手部可清晰采集，從而確保晨檢結果的精準; 　　■更安全 　　√接觸面采用抑菌環(huán)保材料√自動空氣強排裝置促使局部空氣快速更新，配合44天長效抑菌產品√航空插頭，24伏人體安全電壓，確保電路安全 √防電磁干擾設計√無需布線插線，避免小朋友被電線絆倒√晨檢結果由保健老師復核后實時反饋給家長，家長更安心 　　■更方便√特有保健老師操作側屏，高清顯示，老師復核時觀看方便√斷電、斷網都能用，無需布線√萬向輪設計，移動方便

該項目應用領域：可替代現有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應用的經濟性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

開發(fā)了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實現微粒的“片上濃縮”

一、 項目簡介并流濕式脫硫除塵一體化技術及設備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領域的含塵、含硫氣體進行凈化處理開發(fā)的一種運行費用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術與設備。設備內安裝有自主研發(fā)的具有自主知識產權的旋風式氣液接觸元件，含塵、含硫氣體與清洗液體同時從設備頂部并流進入，在高速通過旋風式高效接觸元件時對產生強烈的破碎、攪拌、沖擊作用，增強除塵效果，氣體得到凈化。并流濕式脫硫除塵流程如下圖所示。二、 項目技術成熟程度已應用在實際工業(yè)生產中。應用實例包括：1. 在河北邢臺英都化工廠含單質硫氣體的凈化工藝中，成功地解決了原有氣體凈化系統(tǒng)中氣體單質硫含量不達標的問題，除塵效率達到99.8%；設備由原來的直徑3米、高32米下降為直徑1.6米，高14.64米，設備投資大大降低；運行可靠、操作簡單；經河北省產品質量監(jiān)督檢驗院檢測，總濕板壓降120Pa。  2. 本技術和設備在山東得克公司脫硫工程中應用，氣量10000Nm3/h，設備直徑φ1000，高6100mm，脫硫率達99.5%。三、 技術指標采用氣液并流，空塔氣速可達到5~15m/s，液氣比達到5 L/m3；全塔總壓降＜150Pa，脫硫率≥99.5%，總除塵效率可達到99%；對0~5μm粒徑的微細粉塵分級效率達到85%；與氣液逆流相比，處理相同氣量和粉塵濃度時，能耗可降低25%，設備尺寸減小50%～60%，操作費用和設備投資可減少40%以上；操作時不會出現液泛、霧沫夾帶或帶水現象，塔板上無結垢；操作時不會產生粉塵的再飛揚問題。四、 市場前景并流濕式脫硫除塵一體化技術及設備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領域的含塵、含硫氣體進行凈化處理開發(fā)的一種運行費用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術與設備。氨法、雙堿法、鎂法、石灰石—石膏法等各種方法鍋爐煙氣脫硫除塵；鋼鐵行業(yè)燒結煙氣的脫硫除塵；化工、制藥、食品、建材等行業(yè)的工業(yè)除塵；煙氣脫硫脫硝除塵一體化操作；有害氣體的凈化、冷卻和增濕；處理高溫、高濕和有爆炸危險的氣體；H2S、HCl、NH3、HF等氣體的吸收；惡臭氣體的脫臭。五、 規(guī)模與投資需求根據不同需求可對應多種解決方案。六、 合作方式技術入股，技術轉讓等形式。七、 項目具體聯系人及聯系方式項目負責人及聯系人：張少峰電話： 022-60204596 13132081566 郵箱： shfzhang@hebut.edu.cn

管殼式換熱器在現代工業(yè)中占有十分重要的地位，特別是在動力、能源、化工、空調制冷、石油、冶金、核能等工業(yè)領域中應用極為廣泛，它是工藝流程中的一種主要設備。傳統(tǒng)的弓形折流板換熱器存在流動死區(qū)，易結垢，無法充分利用傳熱面積從而導致傳熱系數低，壓降大，管束易產生流體誘導振動等缺點。高效的管殼式換熱設備能從多方面節(jié)省能源的消耗：一方面可以節(jié)省驅使換熱器中冷熱兩種流體的運動所需的功耗，同時換熱面積的縮小可以減少生產換熱設備所需的能耗以及原材料，有效的結構形式還可以減少換熱面結垢的可能性，延長運行周期。因此換熱設備的高效強化是實現我國過程工業(yè)節(jié)能的關鍵因素之一。據統(tǒng)計，管殼式換熱器大約占世界換熱器市場總份額的35–40%，且在石油、化工領域管殼式換熱器能占到高達70％的份額。因此對螺旋折流板管殼式換熱器進行推廣應用對于節(jié)能具有重要的意義，可以創(chuàng)造巨大的社會效益和經濟效益。 上世紀末提出使用螺螺旋折流板支撐結構代替?zhèn)鹘y(tǒng)的弓形折流板支撐結構可以顯著降低殼側壓降，也有利于強化換熱，具有良好的綜合性能，雖然近十余年中國內外對于螺旋折流板管殼式換熱器開展了較多的研究，但現有的公開發(fā)表的資料中未見到有關螺旋折流板換熱器的完整的設計方法介紹。本技術基于本課題組大量的試驗與數值模擬研究并參考相關公開發(fā)表的文獻，開發(fā)一套完整的熱力設計方法和軟件。 該項目是在教育部重點課題和“973”項目的大力支持下，經過多年的努力完成的。針對單殼程多管程單相介質流動換熱的螺旋折流板管殼式換熱器所開發(fā)的熱力設計軟件，該軟件擁有完全的自主知識產權。本軟件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合編程。VB形成可視化操作界面，可視化數據輸入輸出，實現數據傳遞功能；調用FROTRAN語言編制的可執(zhí)行程序讀取所需數據完成核心計算；調用EXCEL軟件進行相關數據的保存和輸入輸出管理。

本實用新型提出了一種初期雨水棄流裝置，包括井體、進水管、棄流管和出水管，井體側壁上端設有進水口，井體內中部設有隔板，且隔板的最高端不高出進水口，隔板將井體內部分隔成過濾腔和棄流腔，且過濾腔設置在井體靠近進水口一側，井體側壁上設有與過濾腔連通的出水口以及與棄流腔連通的棄流口，過濾腔內填充有砂層，井體內靠近進水口處并位于砂層上方設有活性炭層；進水管與進水口連通，棄流管與棄流口連通，出水管與出水口連通。本實用新型能夠將小流量的雨水資源通過過濾等方式凈化其水質，加以利用；通過紗布網對活性炭層進行固定，以防止