|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
航空曲面有機玻璃透明件成型生產線的設計與制造
成果描述：航空曲面有機玻璃透明件生產線是由成型模具、鉆孔模具、施力與控制系統、加熱與保溫系統、切邊與打磨等設備組成。所開發的生產線生產的產品具有多個尺寸，且質量高、光學成色好。玻璃曲面成型系統具有自動控制溫度和施力，滿足成型工藝的要求。所開發的成型模具和鉆孔模具加工效率高，產品具有較好的成形精度和位置精度。市場前景分析：本成果主要應用在航空制造領域，應用于飛機圓弧擋風玻璃的制造維修。與同類成果相比的優勢分析：國內領先。
四川大學
2021-04-11
汽車件快速成型復合材料用高溫韌性環氧樹脂體系的研制
碳纖維復合材料要真正應用于汽車領域，必須適應高產量汽車生產的成本和生產速度，因此對復合材料的規模化、自動化、快速成型技術提出了更高的要求。高效率批量化生產要求新型的快速固化成型環氧樹脂復合材料。其中主要涉及到的是預浸料的模壓成型工藝：利用固化時間在2~5min的環氧樹脂預浸料模壓成型工藝生產。首先使用2～3分鐘即可硬化的環氧樹脂和碳纖維制造預浸料，然后再放入模具加熱，在3～10MPa的高壓下沖壓成型。成型周期僅為約10分鐘，在熱硬化性CFRP中生產效率上佳。 北京化工大學先進材料研究院中心將化學流變學理論應用于碳纖維預浸料專用樹脂體系的設計指導通過流變學調控樹脂體系的初始粘度，實現樹脂對纖維的充分浸潤。通過化學反應降低預浸料的樹脂流動度，提高預浸料的工藝性能。已申請專利6項。在工藝設備創新方面，采用雙行星雙動力的攪拌方式，低速運轉的行星攪拌錨使物料上下翻動混合，高速運轉的行星分散盤使物料產生強烈的碰撞和剪切。課題組充分利用北京化工大學的高分子學科優勢，基于國產碳纖維的產能擴張，結合不同級別國產碳纖維(T300、T700、T800) 的表面特性，自主設計了不同耐溫等級的環氧樹脂體系，開發了系列化(80、90、100、120、180度)的預浸料專用樹脂體系，以開拓國產碳纖維的下游加工應用。 在快速固化耐高溫韌性環氧樹脂體系的研制方面，環氧樹脂分子設計需要滿足幾個條件，1、含有噁唑烷酮環的環氧樹脂固化后不僅具有較好的耐熱性，其玻璃化轉變溫度和熱分解溫度亦高于純環氧樹脂和其他的傳統環氧熱固性材料。2.具備出色的電氣絕緣性能，物理機械性能。3.噁唑烷酮結構極性基團的存在使得環氧樹脂與碳纖維的粘結強度增加。4.聚氨酯柔性鏈的存在，使得樹脂的柔韌性提高。固化體系設計包括：固化劑的液化改性；儲存穩定性；吸水性；分散性。MHT150-PN預浸料樹脂是中高溫固化快速成型的阻燃環氧樹脂體系，具有高耐熱、環保阻燃和高韌性等特點，主要用于汽車件等快速固化預浸料領域，具有優異的操作性及貼合性。
北京化工大學
2021-02-01
基于超音速熱噴涂技術的裝備關鍵零部件表面耐磨耐蝕涂層
許多工業設備往往因為某個關鍵零部件表面的損壞，導致整個系統效能大幅度降低甚至報廢，造成極大地浪費。綜合應用先進的表面涂層技術，不僅可以極大延長裝備關鍵零部件的壽命，提高產品質量，甚至可以修復已損壞的關鍵零部件，實現裝備的再制造，達到節能、減排、降耗、環保之目的。 熱噴涂技術可使工件表面獲得不同于基體材料的特性，具備更優良的強度、硬度、耐磨、耐蝕、耐熱、絕緣、導電、密封、抗氧化、隔熱、消毒、防微波輻射以及其它各種特殊物理化學性能。它不僅可以再制造修復關鍵零部件，使報廢的零部件
華南理工大學
2021-04-14
大型、超大型零部件孔、面有高位置精度要求的 定位加工技術
對于大型或超大型零部件，如大型箱體類零件上，常有軸承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技術區別于傳統的加工方法，利用特有的等分定位技術和車間現場條件，可方便地確定孔的對稱位置和關聯面間的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技術 + 特殊的定位處理技術
北京科技大學
2021-04-11
輕量化汽車用非調質鋼零部件鍛造形性調控關鍵技術研發
致力于高性能非調質鋼鍛件關鍵技術研發與應用，通過鍛件一體化復 合鍛造成形技術、非調質鋼曲軸和連桿熱溫復合鍛造成形工藝及專用模具、 以及非調質鋼復雜構件組織性能差異化控制技術等技術，創新性發明了非 調質鋼在汽車零部件上應用的關鍵技術，解決了非調質鋼強度有余而韌性 不足的關鍵問題。利用該成果對非調質鋼線材通過控制形變、冷傲、滾絲、 時效處理等工藝技術，研究開發的形變強化高強度緊固件達到GB/T3098. 1 中的10.9級和12.&
南京工程學院
2021-01-12
汽車零部件產品設計、強化工藝制定、耐久性評價以及研發能力提高
1. 具有自主知識產權的復雜服役條件下強度與耐久性評價技術：載荷譜處理新技術——有機地結合強度的動態變化特征等的載荷譜處理新技術；強度與耐久性快速試驗和評價技術——基于動態強度特征零部件耐久性快速評價技術；復雜載荷下零部件疲勞壽命預測技術——有機的結合載荷強化和損傷特性、基于強度特征的疲勞累積損傷理論進行復雜載荷下汽車零部件壽命預測和評價。 2.基于載荷與強度特性的輕量化設計技術：具有自主產權的基于強度特征的輕量化設計方法——基于零部件載荷譜和強度特征進行輕量化設計，該方法能夠充分發揮材料的強度潛能，疲勞強度和疲勞壽命設計更加合理；在零部件的輕量化設計中把靜強度、疲勞強度和壽命、熱處理要求、動態特性和成本有機結合起來進行，把產品的強度與耐久性延伸到成形工藝和熱處理強化工藝，把成形工藝-熱處理工藝-產品疲勞耐久性能關系有機的結合起來，成功的應用于等速萬向傳動中間軸自主開發設計中。
上海理工大學
2021-04-13
基于快速成形制造技術的碳纖維傳感元嵌入裝置及方法
本發明公開了一種基于快速成形制造技術的碳纖維傳感元嵌入裝置，包括：工作臺；升降和平移模塊，安裝在工作臺上；水平移動臺，用于安裝和移動快速成形制造結構的任一疊加層；儲絲模塊；鋪絲模塊，安裝在升降和平移模塊的動力輸出端，用于在快速成形制造的任一疊加層內牽引和嵌入來自儲絲模塊的纖維絲；斷絲模塊，用于切斷嵌入快速成形結構中的纖維絲的尾部；纖維絲固定模塊，用于在嵌入的起始位置固定纖維絲；本發明還公開了一種基于快速成形制造技術的碳纖維傳感元嵌入方法；本發明通過設置鋪絲模塊和水平移動臺，可以快速有效地將纖維絲自動化嵌入實體結構中，實現自監測智能結構的自動化制造。
浙江大學
2021-04-13
高速列車走行及懸掛系關鍵零部件載荷譜測試及可靠性設計技術
該項目是國家部委項目，現處于實驗室研究階段。 項目主要研究內容如下： （1）關鍵構件載荷譜編譜平臺 建立以轉向架構架標定試驗臺為主要裝備的關鍵構件載荷譜編譜平臺，該平臺以多通道、高精度轉向架測力構架標定加載系統為主要設備，配以多通道協同作用控制軟件和相應的加載工裝，完成轉向架載荷譜測試中測力構架的載荷標定，這是確保載荷譜研究圓滿完成所必需的基本試驗手段。 （2）載荷線路測試與評估平臺技術 建立以大容量、多通道、高信噪比（包括無線測量）的載荷線路測試與評估平臺技術，該平臺以高信噪比動態數據采集系統和無線遙測數據采集系統為主要設備，能夠在高速動車組運行時，全程往返連續測試高速動車組轉向架構架、輪軸等關鍵部件的載荷與動應力。 項目主要技術創新點如下：? 建立復雜載荷系下載荷標定技術和方法；? 載荷譜的損傷一致性編譜準則；? 高置信度編譜技術；? 各類測力裝置和大容量高抗干擾能力的測試系統；? 可靠性評估技術。 本項目將形成以轉向架構架標定試驗臺、結構疲勞試驗系統和材料疲勞試驗系統為主要裝備的關鍵構件載荷譜編譜平臺和多通道高信噪比測試設備為主體的載荷線路測試與評估平臺。 應用范圍： 高速列車車輪、車軸、構架、軸箱、齒輪箱、懸吊螺栓、懸吊支座等走行及懸掛系關鍵零部件的設計及試驗評估。
北京交通大學
2021-04-13
綠、白板零附件
產品詳細介紹
北京泰華金屬制品廠
2021-08-23