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半導體設備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
構筑近紅外發(fā)射的超分子人工光捕獲體系
東南大學化學化工學院青年教師陳旭漫博士在國際頂級期刊《Angewandte Chemie（德國應用化學）》上發(fā)表題為“Efficient Near-Infrared Emissive Artificial Supramolecular Light-Harvesting System for Imaging in Golgi Apparatus”的學術論文。光捕獲過程作為將自然光進行捕獲、能量轉化并利用的步驟，是植物光合作用中第一個也是十分重要的過程。構筑人工光捕獲體系對于光能的利用具有重要意義，但目前構筑具有高效人工光捕獲體系仍存在很大挑戰(zhàn)。東南大學研究團隊利用“杯芳烴誘導聚集”策略，設計合成兩親磺化杯芳烴和陽離子型萘基吡啶衍生物作為熒光給體在水溶液中自組裝，并引入尼羅藍作為熒光受體分子，成功構筑了近紅外發(fā)射的超分子人工光捕獲體系。
東南大學
2021-04-11
宏觀超分子自組裝鈾分離的新方法
低碳排放的核能被認為是解決世界日益增長的清潔能源需求最有希望的方案之一。鈾是生產(chǎn)核能的重要原料，其分離和提純引起了研究者們的廣泛興趣。溶劑萃取是目前最成熟的鈾分離和提純技術。然而傳統(tǒng)的萃取流程步驟較多，需要進行反萃和進一步濃縮等后續(xù)處理才能達到最終分離富集目標金屬離子的目的。由此帶來一個棘手的問題，即傳統(tǒng)的萃取往往伴隨著大量的有機廢液甚至放射性廢液產(chǎn)生，這些廢物如不能得到妥善處理和處置，將給環(huán)境帶來巨大的潛在威脅。 宏觀超分子自組裝（Macroscopic supramolecular assembly, MSA）是超分子化學的研究前沿。要實現(xiàn)宏觀尺度的超分子自組裝，有兩個必須滿足的條件：第一，組裝模塊之間要有分子間相互作用力；第二，要有持續(xù)的驅動力推動這些組裝模塊相互靠近，使他們的距離達到納米尺度以下，讓大量的分子間相互作用力能夠發(fā)生，從而實現(xiàn)宏觀自組裝。馬朗戈尼效應(Marangoni effect)是實現(xiàn)宏觀尺度超分子自組裝的一種理想的驅動力。然而，表面張力梯度引起的馬朗戈尼效應通常持續(xù)時間較短，導致組裝效率較低。
北京大學
2021-04-11
超聲促透美容技術
進行美容除了要減緩皮膚細胞的水分蒸發(fā)外，還要供給皮膚細胞充分的營養(yǎng)物質(zhì)。但人體皮膚的表面有一層由角蛋白和類脂構成的角質(zhì)層，有很強的屏障能力，使給予皮膚的營養(yǎng)物質(zhì)難以滲透到皮膚內(nèi)部，從而不能有效地起到滋潤細胞和美化皮膚的功效。九十年代發(fā)展起來的透皮技術可以使小分子營養(yǎng)物質(zhì)能容易地透過角質(zhì)層，但大分子營養(yǎng)物質(zhì)仍難以的通過角質(zhì)層的屏障進入皮膚內(nèi)部。為此我們發(fā)展了超聲促透美容技術，對皮膚施以特定波長的超聲波，改變角質(zhì)層的類脂排列方式，使特定的營養(yǎng)物質(zhì)和治療物質(zhì)有效地滲透到皮膚內(nèi)部，起到針對性地美容和治療作用，同時它還能促進局部血液循環(huán)和對皮膚細胞進行按摩。因此超聲促透美容技術具有針對性強、見效快和療效確切的特點。 超聲促透美容技術由兩部分組成，一是提供超聲振動的超聲美容儀，主要由電子元件構成，通過機械加工和電子元件的組合組裝完成；二是由超聲耦合介質(zhì)和皮膚營養(yǎng)成分組成的美容劑，通過化學物質(zhì)按一定的方式混合配制完成。目前該項目已完成了超聲美容儀和美容劑—美容系列、祛雀斑系列和祛皺系列的樣品研制工作，并取得了很好的試驗效果。 應用范圍：皮膚美容、祛除雀斑和臉部皺紋。
北京科技大學
2021-04-11
絲綢高效促染技術
開發(fā)的新型絲綢的高效促染劑，可使活性染料在絲綢上染色時的上染率和固色率達到90%以上，并無需 添加鹽進行促染。添加劑濃度低到0.2%左右,與傳統(tǒng)促染劑硫酸鈉的2-16%的用量以及30-70%的上染率和 固色率相比，該促染劑非常高效。 該染色技術無需改變原有染色工藝，無需大量投入。提高了染料的利用率，大幅度降低了印染廢水的色 度和處理負荷。
西南大學
2021-04-13
光-浪-流集成一體化發(fā)電裝置
技術成熟度：技術突破
目前的潮流能發(fā)電機組以直驅液壓變槳及帶變速箱的液壓變槳為主，其發(fā)電機和變速箱均采取機械動密封方式進行密封防水處理，海洋環(huán)境下，機械動密封的可靠性和運行效率往往沖突，密封層級多運行阻力大，效率低，密封層級少，密封可靠性差，機組的運行可靠性大大降低。光伏、波浪、海流一體化集成發(fā)電，波浪能與海流能水輪機對轉并通過磁力耦合驅動發(fā)電機增速，具有多能互補、高效獲能、轉換效率高、結構簡單、運行可靠等特點，為規(guī)模化海洋能開發(fā)提供創(chuàng)新型設計。
意向開展成果轉化的前提條件：中試放大及產(chǎn)業(yè)化工藝開發(fā)資金支持
東北師范大學
2025-05-16
報名中 | 平行論壇“標準引領的‘雙一流’建設”
平行論壇“標準引領的‘雙一流’建設”報名
中國高等教育學會
2025-05-16
西安交大科研人員發(fā)現(xiàn)超分子手性產(chǎn)生新機制
超分子手性的自發(fā)產(chǎn)生與放大機理是當前手性研究的一個重點與難點，對這一問題的探索將推動各類手性器件的構筑，深化對生命體起源的理解，拓展超分子體系的研究前沿。
西安交通大學
2022-04-22
磁光雙控超分子納米纖維可抑制腫瘤侵襲轉移
利用修飾有線粒體靶向肽的氧化鐵磁納米粒子與修飾有β-環(huán)糊精的透明質(zhì)酸構筑了一種超分子納米纖維。該超分子納米纖維可以經(jīng)由光照或磁場（甚至包括很弱的地磁場）調(diào)控其形貌轉換。無論是體內(nèi)還是體外條件下，由于透明質(zhì)酸受體在腫瘤細胞表面過表達，該超分子納米纖維可以高效靶向腫瘤細胞，并且經(jīng)過地磁場的導向聚集，誘導腫瘤細胞線粒體功能障礙和細胞間聚集，從而特異性抑制體內(nèi)腫瘤細胞的侵襲和遷移。該超分子納米纖維可以作為一種方便的工具，不僅可以加深對動態(tài)或刺激響應性生物事件的理解，而且可以促進用于腫瘤治療的生物材料的設計和發(fā)展。
南開大學
2021-04-10
一種自分類調(diào)控超分子多色熒光水凝膠
利用超分子凝膠網(wǎng)絡溶脹吸收多種熒光小分子而不互相干擾，成功實現(xiàn)了凝膠材料熒光的多色調(diào)制，為構筑熒光可調(diào)制軟材料提供了一種新的方法。他們首先設計合成了如下圖所示具有良好溶脹性能的水凝膠，這種水凝膠含有兩種互不干擾的鍵合位點（金剛烷基團和磺化杯[4]芳香烴基團，圖2），其中磺化杯[4]芳香烴對水凝膠的高度溶脹起到關鍵性的作用，并且這種高度溶脹性能提升了熒光分子進入水凝膠的擴散速率。這兩個鍵合位點可以分別鍵合染料分子四苯乙烯修飾的β環(huán)糊精（TPECD，藍色熒光）和4-[4-（二甲基氨基）苯乙烯基]-1-甲基吡啶鎓碘化物（DASPI，橙色熒光）而不互相干擾，并且鍵合作用可以大幅度增強染料的熒光發(fā)射強度。他們還通過調(diào)節(jié)凝膠溶脹過程中外液TPECD和DASPI的濃度比例，成功構筑了可以發(fā)出藍色、黃色，特別是白色熒光的超分子水凝膠。與已知的用于構筑發(fā)光凝膠的方法相比，先構筑凝膠、后引入熒光基團制備可調(diào)節(jié)熒光水凝膠的方法非常簡便，為水凝膠在可調(diào)控有機發(fā)光顯示器或光學器件中的應用奠定了基礎。
南開大學
2021-04-10