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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
金屬—耐材高溫復合結構熱—機械行為開發及應用技術
針對煉鐵高爐、煉鋼轉爐、連鑄中間包、鋼水包、魚雷罐車等高溫冶金容器及加熱爐、高溫管道等熱力系統設備的共同結構和負荷特點，綜合利用計算機仿真和現代電測及激光測試分析技術，開展其在生產過程中的熱行為、變形行為及強度行為的內部機理和外在表現的基礎理論研究，形成了金屬——耐材高溫復合結構熱——機械耦合行為的根系方法和設計理論，并成功地應用于300噸鋼包裂紋生成分析及改制設計，轉爐延壽技術及工藝確定、高爐下降煤管的塌落事故評估和治理以及轉爐等高溫結構的設計和行為控制等方面。其中300噸鋼包裂紋生成分析及改制研究工作明確了原有進口大型鋼包裂紋的生成機理以及改制研究工作明確了原有進口大型鋼包裂紋的生成機理及防治方法，并首次獎圓弧底和整體小耳軸應用于大型鋼包，使新鋼包的各處應力分布較為均勻，應力水平降低，最大應力較原有鋼包下降約40%，各種最大應力均避開了焊縫位置，焊縫和水口附近的應力水平下降了60～70%。其結果使鋼包的機械強度指標較原有鋼包有了很大改進，特別使焊縫和水口附近改善明顯。在提高鋼包使用壽命、降低包重、減少維修費用等方面取得了令人滿意的效果，并徹底替代了原有進口鋼包，取得了巨大的經濟和社會效益，該項成果現已在寶鋼全面推廣。
北京科技大學
2021-04-11
耐多藥結核病噬菌體快速診斷試劑盒研制
研制了耐多藥結核病的噬菌體快速診斷試劑盒，可同時檢測結核分枝桿菌臨床分離 株和/或肺結核患者痰標本對 5 種抗結核藥物（利福平、鏈霉素、異煙肼、乙胺丁醇、 吡嗪酰胺）的耐藥性。全程只需 3 天時間，比常規方法縮短 4～8 周，與傳統方法的診 斷符合率達 85％以上。
同濟大學
2021-04-13
一種耐液態熔融鋅腐蝕的復合涂層及其制備方法
本發明公開了一種耐液態熔融鋅腐蝕的復合涂層，屬于金屬材 料表面改性領域，該涂層包括涂覆在基體表面的打底層和涂覆在打底 層上的合金涂層，所述合金涂層同時包含元素 Cr、Mn、W、Nb、B、 S 以及余量的 Fe，所述打底層同時包含元素 Co、Cr、Al、Ni、Y、O 以及不可避免的雜質元素。本發明還公開了制備該復合涂層的方法， 包括：采用霧化法制備合金涂層粉體，對基體表面進行噴砂處理，采 用熱噴涂方式制備打底層，以及在
華中科技大學
2021-04-14
替代氛橡膠的耐新型齒輪油／高耐磨ACM 油封膠料
項目簡介： 針對現有氛橡膠油封不能滿足現代高端裝備（如汽車、工程機械等）所用新型潤滑油的問題，需要研發一種能耐該新型潤滑介質且具有高耐磨性的油封膠料。本項目采用ACM 橡膠作為油封的基礎膠料 ， 它能承受新型齒輪潤滑油的侵 蝕， 但&n
西華大學
2021-04-14
耐高溫防靜電臺墊 耐300度高溫防靜電臺墊
產品詳細介紹深圳市利盛泰靜電科技有限公司0755-276705580755-2767064813510890109www.lst-esd.com產品簡介:防靜電臺墊（地墊）主要用導靜電材料、靜電耗散材料及合成橡膠等通過多種 工藝制作而成。臺墊使用時間持久，具有很好的防酸、防堿、防化學熔劑特性，并且耐磨，易清洗;鋪設防靜電臺墊使人體及臺面接觸的ESDS鑷子、工具、器具、儀表等達到均一的電位并釋放靜電，同時使靜電敏感器件（SSD)不受摩擦起電等靜電放電現象的干擾，從而達到靜電防護的效果。產品一般為二層結構，表面層為靜電耗散層，底層為導電層。表面層為約0.3-0.5mm厚的靜電耗散層，底層為約1.5-1.7mm厚的導電層。● 面層電阻率：107-109Ω● 底層電阻率：103-105Ω● 磨耗率：<0.02g/cm2● 靜電耗散時間：<0.1s
深圳市利盛電子有限公司
2021-08-23
一種結合氣調保鮮的蔬菜冷鏈物流系統
本實用新型公開了一種結合氣調保鮮的蔬菜冷鏈物流系統。氣調袋內置有RF發射模塊，RF發射模塊無線連接車載電腦；冷藏車廂內配備有溫濕度傳感器和CO2傳感器，溫濕度傳感器和CO2傳感器均具有RF發射模塊，RF發射模塊無線連接車載電腦；車載電腦經Internet網絡與云服務器連接。本實用新型結合氣調及冷藏，在物流過程中將氣調袋壓力、氣調袋及車廂溫濕度、CO2等數據實時發送至車載電腦，被上傳至云服務器以便監控，可大幅提高運輸過程中蔬菜的品質保鮮，降低裂變損耗，提高經濟效益。
浙江大學
2021-04-11
一種結合氣調保鮮的水果冷鏈物流系統
本實用新型公開了一種結合氣調保鮮的水果冷鏈物流系統。氣調袋內置有WIFI發射模塊，WIFI發射模塊無線連接車載電腦；冷藏車廂內配備有溫濕度傳感器和乙烯傳感器，溫濕度傳感器和乙烯傳感器均具有WIFI模塊，WIFI模塊無線連接車載電腦，冷藏車壓縮機和車廂內通風口風機與車載電腦的串口連接，車載電腦經Internet網絡與云服務器連接。本實用新型系統結合氣調及冷藏，在物流過程中將氣調袋壓力、氣調袋及車廂溫濕度、乙烯等數據實時發送至車載電腦，被上傳至云服務器以便監控，可大幅提高運輸過程中水果的品質保鮮，降低裂變損耗，提高經濟效益。
浙江大學
2021-04-11
石油焦化冷焦污水封閉分離成套技術與應用
延遲焦化是我國石油煉制四大關鍵裝置之一，是我國劣質原油和重質原油輕質化與優質化的主要手段之一。自1957年建成我國第一套 10 萬噸/年延遲焦化裝置以來，冷焦水一直存在突出的環境污染問題，對我國環境造成負面效應，國內外沒有很好的解決方案。針對冷焦系統的流量及組成波動劇烈、壓力周期性變化、廢水與廢氣交織等多組分多相體系的非穩態特點，首先設計在全密閉下的多級混合降溫冷凝-機械梯級分離-快速富集純化方法集成的冷焦水封閉循環清潔生產工藝。將冷焦熱水這種 VOC 氣 （ 汽 ） 體-水-焦粉-重油組成的固-液-液-氣混合物分離為油、水、焦三部分，并分別再生至回收或循環利用的純度，實現廢水治理與廢氣治理協同、污染物治理與廢棄資源循環利用協調、經濟效益與清潔生產結合，總體思路是利用一套集成化的組合機械分離裝置，解決冷焦廢水、廢氣污染的兩個問題，實現水、重油、焦三種物質分別回收利用。其核心技術為冷焦水密閉循環處理集成技術，多組分多相流體快速強場分離技術、多場耦合分離技術、耦合場梯級分離技術、廢水與廢氣耦合治理技術、低濃度油類廢水油快速富集與再生利用技術。以多組分多相流體多場耦合快速微小旋流分離系列技術為核心的冷焦污水封閉循環成套工藝技術，被中國石化專家組鑒定為國內外首創。該技術污油回收回煉率、水再生及循環利用率、石油焦回收利用率達100%，作業區域臭氣濃度達到國家有關規定。 本項目屬于循環經濟與節能減排技術領域，涉及石油化工清潔生產工藝、化工過程機械和環境保護機械設備設計與制造技術。
華東理工大學
2021-02-01
面向果蔬冷鏈物流呼吸速率的監測裝置及方法
本發明實施例提供一種面向果蔬冷鏈物流呼吸速率的監測裝置及方法，屬于冷鏈物流領域。該方法確定了果蔬冷鏈物流環境中呼吸速率隨時間、溫度變化的測定方法和步驟，可以記錄果蔬冷鏈物流過程中的時間、溫度、濕度、O2、CO2、乙烯和呼吸速率信息，記錄方式為存儲、有線發送和無線發送。本發明能夠有效實現對果蔬冷鏈物流呼吸速率監測與記錄，對研究果蔬冷鏈物流過程中的品質變化和有效控制呼吸作用以及各種生命活動提供了研究基礎，為果蔬冷鏈物流全過程提供數據的透明性和追溯性，便于及時發現并解決冷鏈物流中存在的問題。
中國農業大學
2021-04-11