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XH-630A臥式加工中心的雙驅機構 “高速精密臥式加工中心”是先進制造業的關鍵裝備，可實現工件一次裝夾五面加工。工信部“高檔數控機床與基礎制造裝備”科技重大專項——列有“高速、精密臥式加工中心”課題予以重點支持，其精密主軸結構設計、精密回轉工作臺結構設計，精密拖動機構設計技術，整機結構優化設計是本課題的關鍵技術。 “XH-630A臥式加工中心”采用重心驅動技術，X和Y進給設計了雙伺服/雙絲杠驅動系統，大大提高進給部件的響應速度和精度，項目被上海市經委列為“上海市重大技術裝備首臺業績突破項目”。 本項目首臺樣機，參展了第11屆上海國際機床展。項目通過了上海市經濟和信息化委主持的專家組驗收。

針對極紫外光刻機物鏡的溫管和溫控技術難題，設計和開發了針對極紫外光刻機的具有自主知識產權的超精密溫控裝置，目前已應用在半導體制造業及光刻機生產廠商、高檔數控行業和民用航天上，涉及企事業單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產品，采用主動溫度控制方法，解決了單點溫度控制穩定性和多通道溫度控制均勻性的問題；設計了具有功能模塊化的溫控層次結構，解決了超精密溫控中系統內外的擾動和時滯問題，控溫速度快；研制了大功率串聯半導體制冷模塊，結合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動能力。項

本項目創新性提出利用七臺電缸作為模壓機構的伺服驅動元件，相比國外氣缸驅動的玻璃模壓成形設備，更有利于對模壓速度、模壓位置與成形壓力的精密控制。設備使用的工業控制系統，比可編程邏輯控制器更利于對模壓成形過程進行工藝調試、條件優化以及對工藝數據的導入導出。此外，設備還對加熱模塊進行了進一步優化，有更寬的溫度調控范圍。 課題組通過技術攻關，在模具材料制備、微納模具超精密加工與微納光學器件超精密模壓成形方面，已經形成了具完全自主知識產權的玻璃模壓加工工藝。基于開發的全電機伺服驅動精密模壓成形機，可實現在可見光玻璃和紅外玻璃材料上加工自由曲面透鏡、非球面透鏡、微溝槽、微柱面鏡陣列、微棱鏡陣列、微透鏡陣列等光學器件。對于國內微納光學器件制造意義重大。

本課題組創新性提出利用七臺電缸作為模壓機構的伺服驅動元件，相比國外氣缸驅動的玻璃模壓成形設備，更有利于對模壓速度、模壓位置與成形壓力的精密控制。設備使用的工業控制系統，比可編程邏輯控制器更利于對模壓成形過程進行工藝調試、條件優化以及對工藝數據的導入導出。此外，設備還對加熱模塊進行了進一步優化，有更寬的溫度調控范圍。 課題組通過技術攻關，在模具材料制備、微納模具超精密加工與微納光學器件超精密模壓成形方面，已經形成了具完全自主知識產權的玻璃模壓加工工藝?；陂_發的全電機伺服驅動精密模壓成形機，可實現在可見光玻璃和紅外玻璃材料上加工自由曲面透鏡、非球面透鏡、微溝槽、微柱面鏡陣列、微棱鏡陣列、微透鏡陣列等光學器件。對于國內微納光學器件制造意義重大。

本項目旨在研制船舶制造精密測量系統，結合高精度全站儀提升我國船舶制造精度控制水平，主要研究內容包括以下三個部分： (1) 針對船舶分段不規則擺放、構件外型復雜、尺寸大、內側構件不易測量等實際情況，建立適用于測量大型船舶分段和構件的數學模型； (2) 通過嵌入式精密測量系統與高精度全站儀的集成應用，實現船舶分段和構件三維坐標數據的采集，為船舶制造提供船舶的三維計算與分析結果； (3) 建立船舶制造數據庫、誤差分析模型和精度控制方案，存儲設計數據、實測數據和分

產品詳細介紹多軸精密運動平臺：采用直接驅動電機，無絲杠傳動，全伺服驅動。微光柵編碼器作為信號反饋機制，有多種結構形式，重復定位精度1微米到10微米，行程可定制?！　≈С邢到y可選空氣軸承、滾珠導軌、滾柱軸承等。速度快，最大速度5米／秒（300米／分），加速度大，最大加速度1G到10G可選?！　≈饕獞妙I域：精密運動設備、精密測試測量、電子設備、數控機床、MEMS、醫療設備等。

產品詳細介紹產品概述：    用于實驗過程中線路板的裁板。 技術參數：                                      1．特鋼長壽命刀刃，省力杠桿式設計，輕松切割各種厚板材。 2．流線型的外觀程符合人體工程學的設計。 3．配置水平對位功能，可以方便的切割固定形狀的PCB板。 4．最大切割長度340 mm，最大厚度3 mm，。 5．具有對位和固定標尺，精度更高，使用更方便。 6．固定透明保護罩，既保證不會誤傷手指，以可以觀查切板質量。  

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氣動溢流閥廣泛應用于氣動系統，尤其在氣動系統節能項目中的高低壓改造時有著非常重要的作用。對氣動系統進行高低壓改造時，為了使氣體所攜帶的能量得到最有效的利用，對氣動溢流閥的穩壓精度提出了更高的要求。傳統的直動式溢流閥采用彈簧結構，通過彈簧設定溢流壓力，系統流量穩定時，壓力閥芯在膜片上腔氣體壓力和彈簧力作用下平衡。系統流量波動時，如流量增大時，溢流閥閥口開度增大，彈簧壓縮量也隨之增大彈力也相應增大，導致溢流壓力增大，即傳統的直動式溢流閥的溢流壓力隨系統流量的變化而波動，穩壓精度低，流量特性差，限制了其在氣動系統中的廣泛應用。針對這一情況，本成果提出的先導式差動膜片結構，提高了溢流閥的穩壓精度和流量特性。

1、成果簡介 在運載體上，在機動停止狀態，精密尋北。技術指標： 1、尋北誤差小于1″ 2、尋北時間小于3min2、應用說明 主要應用對象：慣性轉臺、戰車、火炮、船舶、任意空間場所、大型望遠鏡等領域。3、效益分析高技術產品