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半導(dǎo)體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學(xué)
2022-07-22
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適用于具有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優(yōu)化方法
本發(fā)明屬于超材料設(shè)計相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，其公開了一種適用于具 有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優(yōu)化方法，其包括以下步驟: (1)采用加權(quán)法建立每層的、同時考慮微觀結(jié)構(gòu)拉脹屬性及宏觀結(jié)構(gòu)剛 度屬性的多目標(biāo)優(yōu)化模型;(2)控制所述超材料結(jié)構(gòu)整體在一個方向上 的拉脹屬性及剛度屬性呈梯度形式分布;(3)計算每層設(shè)計域上的微觀 位移、宏觀位移、以及每層微結(jié)構(gòu)的等效彈性屬性;(4)基于計算獲得 的敏度，采用優(yōu)化準(zhǔn)則法更新設(shè)計變量，進而判斷所述目標(biāo)函數(shù)是否 收斂。上述拓撲優(yōu)化方法采用加權(quán)法建立同時考慮微觀結(jié)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
“互聯(lián)網(wǎng)+”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽間接帶動就業(yè)超400萬人
中國國際“互聯(lián)網(wǎng)+”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽參賽項目累計落地創(chuàng)辦企業(yè)超過7萬個，創(chuàng)造就業(yè)崗位超過60萬個，間接帶動就業(yè)超過400萬人。
新華社
2020-11-11
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一種迭代空間模糊聚類的大腦磁共振圖像超體素生成方法
本發(fā)明公開了一種迭代空間模糊聚類的大腦磁共振圖像超體素生成方法，包括以下步驟：首先，由于人類大腦具有相同的拓撲結(jié)構(gòu)，從基于群體的大腦MRI模板獲得一組種子模板；其次，為了排除部分容積效應(yīng)的影響，提出了一種迭代空間模糊聚類算法，將體素分配給每個種子生成超體素。本發(fā)明能較好地應(yīng)用于大腦磁共振圖像，生成有效的大腦磁共振圖像超體素。
東南大學(xué)
2021-04-11
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超快掃描隧道顯微鏡并捕捉到極化子動力學(xué)行為
成功研制出國內(nèi)首臺超快掃描隧道顯微鏡，實現(xiàn)飛秒級時間分辨和原子級空間分辨，并捕捉到金屬氧化物表面單個極化子的非平衡動力學(xué)行為。掃描隧道顯微鏡（Scanning Tunneling Microscope，STM）由于其隧穿電流具有高度的局域性，空間分辨率可以達到原子量級。然而受電流放大器帶寬的局限，其時間分辨一般只能達到微秒量級（10-6 s），而很多微觀動力學(xué)過程往往發(fā)生在皮秒（10-12 s）和飛秒（10-15 s）量級。為了提高STM的時間分辨率，其中一種比較可行的辦法是將超快激光的泵浦-探測（pump-probe）技術(shù)和STM相結(jié)合，利用超快光與電子隧穿過程的耦合來實現(xiàn)“飛秒-埃”尺度的極限探測。盡管超快激光技術(shù)和STM相耦合的概念在上世紀90年代就被提出，但是相關(guān)研究進展非常緩慢，主要受限于一系列技術(shù)難點，例如：激光的熱效應(yīng)對STM隧道電流的干擾、激光誘導(dǎo)電流的低信噪比、超快激光脈沖在STM中的展寬、激光與隧穿電子間的耦合機制等。
北京大學(xué)
2021-04-11
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一種基于超磁致伸縮薄膜驅(qū)動器的平面線圈驅(qū)動式微閥
本發(fā)明公開了一種基于超磁致伸縮薄膜驅(qū)動器的平面線圈驅(qū)動式微閥，包括下閥體 （1）、依次壓疊在下閥體（1）上的基片（3）、上閥體（4）和平面螺旋線圈（6），下閥 體的底部沿徑向方向分別設(shè)有進液流道（2）和出液流道（11），下閥體的上部設(shè)有液體腔 （13），進液流道（2）設(shè)有垂直向上的與液體腔連通的流道口，出液流道（11）與所述液 體腔連通；基片（3）上表面鍍有具有逆磁致伸縮效應(yīng)薄膜（7），下表面鍍有具有正磁致伸 縮效應(yīng)薄膜（9）；平面螺旋線圈（6）通電后，磁致伸縮薄膜驅(qū)動器在激勵磁場的作用下發(fā) 生形變向上彎曲，使得工作流體通道打開，實現(xiàn)液壓系統(tǒng)回路的通斷。本發(fā)明具有體積小、 易于微型化、響應(yīng)速度快、可控性強等特點。
安徽理工大學(xué)
2021-04-13
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一種基于水性樹脂的超細纖維合成革基布的含浸方法
本發(fā)明公開了一種基于水性樹脂的超細纖維合成革基布的含浸方法。首先將固含量為20~50%的水性耐堿水解型聚氨酯乳液100份，固含量30~40%的堿溶性丙烯酸及其酯共聚物乳液40-100份，水0~250份，增稠劑0.6~3份混合均勻，制得水性含浸漿料；然后將超細纖維纖無紡布浸漬于水性含浸漿料中，然后干燥5~20min；接著用5~15%的氫氧化鈉水溶液中進行堿減量處理，減量溫度為80~95℃，減量時間為30~120min，丙烯酸及其酯共聚物水解溶出，從而在超細纖維合成革中形成泡孔結(jié)構(gòu)；堿減量后的基布進行水洗、烘干，最后經(jīng)后整理得到超細纖維合成革。
四川大學(xué)
2017-12-28
一種多傳感器融合的超近距離自主導(dǎo)航裝置與方法
本發(fā)明公開了一種多傳感器融合的超近距離自主導(dǎo)航裝置與方法。該裝置包括傳感器子系統(tǒng)、信息融合子系統(tǒng)、敏感器掃描結(jié)構(gòu)和指向?qū)бY(jié)構(gòu)，將可見光成像敏感器與紅外成像敏感器結(jié)合，并結(jié)合光學(xué)成像敏感器組成的被動式測量方式與激光測距傳感器組成的主動式測量方式獲取數(shù)據(jù)。自主導(dǎo)航分為三個階段：遠距離段采用雙目可見光成像敏感器和雙目紅外成像敏感器組合的導(dǎo)航方式，近距離段采用雙目可見光成像敏感器、雙目紅外成像敏感器和激光測距傳感器陣
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于超連續(xù)譜的波長可調(diào)諧相干光檢測系統(tǒng)及方法
本發(fā)明公開了一種基于超連續(xù)譜的波長可調(diào)諧相干光檢測系統(tǒng)， 包括高非線性光纖、可調(diào)諧光濾波器、光譜儀、90°混頻器、四個光 電平衡探測器、模數(shù)轉(zhuǎn)換單元和信號處理單元；飛秒脈沖光經(jīng)過高非 線性光纖后獲取覆蓋 C 波段、光譜平坦、具有相干性的超連續(xù)譜；通 過可調(diào)諧光濾波器對該超連續(xù)譜進行濾波，獲取到中心波長和光譜寬 度可調(diào)的脈沖光，將其作為本地采樣脈沖，與待測光信號在 90°混頻 器中發(fā)生偏振相干混頻；將相干混頻后的光信號
華中科技大學(xué)
2021-04-14
2025年我國大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)測算規(guī)模超3萬億元 期待大數(shù)據(jù)帶來大市場
工信部日前發(fā)布《“十四五”大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》，提出到2025年，我國大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)測算規(guī)模突破3萬億元，年均復(fù)合增長率保持25%左右，創(chuàng)新力強、附加值高、自主可控的現(xiàn)代化大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)體系基本形成。
工信微報
2021-12-14