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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

用于冷軋板材絕對(duì)厚度/相對(duì)厚度（可自由轉(zhuǎn)換）測(cè)量的高靈敏度儀器。 該儀器的測(cè)量原理是采用雙CCD傳感器分別放置于被測(cè)鋼板厚度上下兩面的同一軸線上，沿平行于鋼板面移動(dòng)，采用和差補(bǔ)償測(cè)量電路預(yù)處理和采集信號(hào)，并將該信號(hào)經(jīng)89C52單片機(jī)后，進(jìn)行一系列數(shù)據(jù)處理，然后傳輸給LJD-GP2410 ARM一體機(jī)存儲(chǔ)并顯示測(cè)量結(jié)果。儀器具有“人機(jī)對(duì)話”、“輸入板帶各種參數(shù)”、“自動(dòng)采集數(shù)據(jù)”、“數(shù)據(jù)處理”、“存儲(chǔ)測(cè)量結(jié)果”、“顯示和傳輸各種數(shù)據(jù)”、“打印曲線”等智能化功能。能實(shí)現(xiàn)手持簡(jiǎn)易測(cè)量，同時(shí)又能在固定導(dǎo)軌測(cè)量。 主要性能指標(biāo)：1. 儀器測(cè)量范圍：寬度0～2000mm，厚度2～50mm；2. 儀器分辨率：1mm；示值誤差：＜5mm。

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產(chǎn)品詳細(xì)介紹消防箱防火板  消火栓箱防火板。消防箱無(wú)機(jī)防火板是暗裝消防箱時(shí)，箱后透墻防火的一種措施，保證在起火時(shí)消防箱不會(huì)變形，消防設(shè)施能夠正常使用。消防箱無(wú)機(jī)防火板是用阻燃玻璃纖維、無(wú)機(jī)材料，阻燃劑、固化劑等成份制作而成，具有阻燃性能好，遇火不燃燒時(shí)間可達(dá)3小時(shí)以上，機(jī)械強(qiáng)度高，不爆、耐水、耐油化學(xué)防腐性強(qiáng)等特點(diǎn)。無(wú)機(jī)防火隔板燃燒試驗(yàn)中，火焰溫度達(dá)1000℃時(shí)不變形，各項(xiàng)指標(biāo)符合GB23864-2009的規(guī)定要求，燃燒性能達(dá)到GB8624規(guī)定的A級(jí)（不燃性）標(biāo)準(zhǔn)。      消防箱無(wú)機(jī)防火板還可用于制作防火隔板、蓋板、面板、盤柜門板、電纜槽盒等 ，板材加工方便，可隨意切割、電鋸、鉚釘上螺絲。其造價(jià)低、重量輕、安裝方便主要適用于各類電壓等級(jí)的電纜在支架或橋架上敷設(shè)時(shí)的防火保護(hù)和耐火分隔，大量應(yīng)用在國(guó)內(nèi)各類發(fā)電廠、化工企業(yè)、鋼鐵冶煉企業(yè)、礦山等電纜密集場(chǎng)所的電纜工程的防火阻燃。也是大型商場(chǎng)、酒店、賓館、文體會(huì)館、封閉式服裝市場(chǎng)、輕工市場(chǎng)、影劇院等公共場(chǎng)所室內(nèi)裝飾防火阻燃工程的防火阻燃材料。      無(wú)機(jī)防火隔板產(chǎn)品可采用切割鋸進(jìn)行分切，根據(jù)施工現(xiàn)場(chǎng)需要制成所需用的形狀，裝配時(shí)采用鋼支架或膨脹螺栓固定，鋼架要用鋼結(jié)構(gòu)防火涂料刷。也可用本無(wú)機(jī)防火隔板裝制成各種形式的電纜防火槽盒。 

結(jié)構(gòu)材料輕量化是目前國(guó)民經(jīng)濟(jì)、國(guó)家重大需求的重大挑戰(zhàn)，材料結(jié)構(gòu)功能一體是新材料的重要發(fā)展方向。 輕質(zhì)高強(qiáng)泡沫鋁合金復(fù)合夾芯板以超輕質(zhì)的泡沫鋁合金為芯層，與鋁合金面板實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合，具有比重小，高剛度，高阻尼減振，高能量吸收的特點(diǎn)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)與阻燃、電磁屏蔽功能兼容性，在先進(jìn)交通、航空航天領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。通過可調(diào)控的芯層泡沫鋁合金孔結(jié)構(gòu)，復(fù)合夾芯板的實(shí)現(xiàn)了同等質(zhì)量鋼板6倍的高剛度，同時(shí)比重僅與水接近，該成果已經(jīng)應(yīng)用于我國(guó)重要裝備制造。

已有樣品/n團(tuán)隊(duì)成功掌握了大面積柔性陣列壓力傳感器的一整套生產(chǎn)工藝， 并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了多個(gè)應(yīng)用系統(tǒng)， 申報(bào)多項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)（13項(xiàng)授權(quán)發(fā)明專利、 8項(xiàng)軟件著作權(quán)登記） ， 研制的柔性陣列壓力傳感器及其終端產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用在競(jìng)技體育科研、 個(gè)性化工業(yè)產(chǎn)品設(shè)計(jì)、 公共安全、 醫(yī)療康復(fù)評(píng)估以及運(yùn)動(dòng)生物力學(xué)研究等領(lǐng)域。

金屬鋁蜂窩板產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代建筑、汽車、家具、電器、燈飾等領(lǐng)域上。

石材鋁蜂窩板具有重量輕、輻射污染小、節(jié)省石材材料、板面尺寸大等特點(diǎn)，可以用來(lái)吊頂、幕墻、內(nèi)裝墻面、地面等，越來(lái)越廣泛的應(yīng)用在建筑、車輛、船舶等裝飾裝修中。