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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
預移相模型熱線（膜）動態流速計
用于中低速風洞動態流速測量，是湍流研究，風洞試驗的必備設備。 功能特點： 1.操作極簡單，無需平衡消振蕩調節； 2.流速全范圍一次標定，任意測量； 3.動態響應極好，貧響寬； 4.全計算機控制處理，高速 A/D，軟件包內含基本流體測量，研究算法。 應用領域： 風洞試驗，環境現場流場測量分析等
同濟大學
2021-04-11
鋼鐵生產電磁攪拌用兩相正交逆變器
電磁攪拌兩相電源拓撲結構及大電流快速跟蹤控制方法，解決了其快速換相的難題，將大電流電磁攪拌換相時間從國外2秒縮短到1秒，使連鑄鋼水攪拌次數增加了10%。提出的整體式克萊姆環形繞組電磁攪拌輯結構、磁場定向控制、多電源同步控制技術，解決了電磁攪拌轆漏磁、攪拌力相互抵消的國際難題。首創我國兆瓦級方圓坯電磁攪拌電源系統，填補了國內空白。2007年研制出我國首套1.7m 寬厚板坯高密度磁場多輾攪拌系統，與國外領先的ROTELEC公司產品相比，電磁攪拌力提高120%，能效比提高140%。研制出世界首套2.8m 、350mm 輥式板坯電磁攪拌系統，在南京鋼鐵成功投運，使我國進入該領域世界領先行列。
湖南大學
2021-04-11
油井三相自動計量與遠程監控系統
油井多相自動計量技術解決了傳統分離器計量和人工含水計量存在的計量誤差大以及油田進入中后期開發階段出現的低液量、低含氣、間歇出油井無法計量的問題，填補了國內外油井計量的空白。（1）高效分離：柱式旋流分離、重力分離、氣液平衡自調節等一體化新技術；（2）三相的準確計量：先進的計量儀表與科 學的含水計算方法；（3）適用不同油氣比條件下的計量，工況范圍廣；（4）特殊工況：高含水、低液量、 大氣量、稠油、稀油、間歇出油等；（5）單井與分隊油井實時連續計量；（6）多井控制的定時單井計量；（7）適用范圍廣，滿足油田采用隊、計量站、聯合站、集輸站、海上平臺等油井計量的需要。
北京工業大學
2021-04-13
油井三相自動計量與遠程監控系統
北京工業大學
2021-04-14
油井三相自動計量與遠程監控系統
北京工業大學
2021-04-14
三相非隔離型光伏并網逆變器
T 型三電平電路結構，全數字化控制、低漏電流的 SVPWM 技術，產品功率等級為 10kW、12kW、 15kW、 17kW，適用于戶用型及小型并網發電站，自主知識產權。
揚州大學
2021-04-14
固液兩相流泵及輸送技術
在河湖航道疏浚、吹填圍墾、冶金及水利電力等行業中，泥砂、礦石、煤炭、灰渣或其它固體物料的管道水力輸送是相關工程的重要環節，消耗了動力裝置絕大部分功率，是決定生產功效的重要因素。在教育部“211”工程和中荷水利教育與科研國際合作項目的支持下，河海大學常州校區建成了國內一流的大型疏浚泥泵與泥沙輸送實驗臺。實驗臺由315kW西門子變頻驅動裝置、耐磨砂礫泵、泥沙注入和回收裝置、管道系統、汽蝕裝置，以及參數測量與計算機數據采集系統等組成。高精度電磁流量計、差壓傳感器、放射線密度計等測量儀器設備
河海大學
2021-04-14
可切削加工的納米復相陶瓷材料
陶瓷材料具有耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、電絕緣等一系列優點。但是，其質地脆硬，難以機械切削加工。利用納米復合技術，在氧化鋁、碳化硅、氮化硅等陶瓷基體中，原位添加形成納米可切削相，制備出納米復相可加工陶瓷，能夠用普通刀具車削、銑削、鉆孔，制造形狀復雜、尺寸精密的陶瓷部件。 近年來，在國家863項目支持下，本課題組致力于高性能可加工陶瓷材料的研發工作，采用濕化學方法，結合熱壓或常壓燒結，制備出多種可加工陶瓷材料及部件，保持了陶瓷材材的耐高溫、抗氧化、耐腐蝕和電絕緣性能，同時，能夠機械加工出復
江蘇大學
2021-04-14
可切削加工的納米復相陶瓷材料
項目簡介陶瓷材料具有耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、電絕緣等一系列優點。但是，其質地脆硬，難以機械切削加工。利用納米復合技術，在氧化鋁、碳化硅、氮化硅等陶瓷基體中，原位添加形成納米可切削相，制備出納米復相可加工陶瓷，能夠用普通刀具車削、銑削、鉆孔，制造形狀復雜、尺寸精密的陶瓷部件。近年來，在國家 863 項目支持下，本課題組致力于高性能可加工陶瓷材料的研發工作，采用濕化學方法，結合熱壓或常壓燒結，制備出多種可加工陶瓷材料及部件，保持了陶瓷材材的耐高溫、抗氧化、耐腐蝕和電絕緣性能，
江蘇大學
2021-04-14