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硅基已知頻率縫隙耦合式Ｔ型結(jié)直接式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基已知頻率縫隙耦合式Ｔ型結(jié)直接式毫米波相位檢測器是由共面波導傳輸線、縫隙耦合結(jié)構、移相器、Ｔ型結(jié)功分器、Ｔ型結(jié)功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構成，整個結(jié)構基于高阻Ｓｉ襯底制作，一共有四個縫隙耦合結(jié)構，上方的兩個縫隙耦合結(jié)構連接著兩個直接式熱電式功率傳感器，下方的兩個縫隙耦合結(jié)構實現(xiàn)信號的相位測量，在前后縫隙之間設置有一個移相器；Ｔ型結(jié)功分器和Ｔ型結(jié)功合器是由共面波導傳輸線、扇形缺陷結(jié)構和空氣橋所組成；直接式熱電式功率傳感器主要由共面波導傳輸線、兩個熱電偶和一個隔直電容所構成，每個熱電偶
東南大學
2021-04-14
硅基已知頻率縫隙耦合式Ｔ型結(jié)間接式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基已知頻率縫隙耦合式Ｔ型結(jié)間接式毫米波相位檢測器是由共面波導、縫隙耦合結(jié)構、移相器、Ｔ型結(jié)功分器、Ｔ型結(jié)功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構成，整個結(jié)構基于高阻Ｓｉ襯底制作，一共設置有四個縫隙耦合結(jié)構，上方的兩個縫隙耦合結(jié)構連接著兩個間接式熱電式功率傳感器，下方的兩個縫隙耦合結(jié)構實現(xiàn)信號的相位測量，在前后縫隙之間設置有一個移相器；Ｔ型結(jié)功分器和Ｔ型結(jié)功合器是由共面波導、扇形缺陷結(jié)構和空氣橋所組成；間接式熱電式功率傳感器主要由共面波導、兩個終端電阻以及熱電堆所構成，熱電堆是由兩種不同的半導體
東南大學
2021-04-14
硅基微機械懸臂梁耦合間接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基微機械懸臂梁耦合間接加熱在線式毫米波相位檢測器，實現(xiàn)結(jié)構包括懸臂梁耦合結(jié)構、功率合成／分配器和間接加熱式微波功率傳感器。懸臂梁耦合結(jié)構中，兩個結(jié)構相同的懸臂梁在ＣＰＷ中央信號線上方，用于耦合部分待測信號，通過錨區(qū)與功率合成器相連，耦合信號的功率相等，兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度為λ／８。懸臂梁下方的ＣＰＷ中央信號線上覆蓋了一層Ｓｉ３Ｎ４介電層，用于防止電學短路。參考信號通過功率分配器分成兩路信號，分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過功率合成器合成，功率合成器的輸出端連接到間接加熱式微波功
東南大學
2021-04-14
硅基微機械懸臂梁耦合直接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基微機械懸臂梁耦合直接加熱在線式毫米波相位檢測器，實現(xiàn)結(jié)構包括懸臂梁耦合結(jié)構、功率合成／分配器和直接加熱式微波功率傳感器。懸臂梁耦合結(jié)構左右對稱，兩個懸臂梁在ＣＰＷ中央信號線上方，結(jié)構相同，用于耦合部分待測信號，通過錨區(qū)與功率合成器相連，兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度為λ／８。懸臂梁下方的ＣＰＷ中央信號線上覆蓋了一層Ｓｉ３Ｎ４介電層，用于防止電學短路。參考信號通過功率分配器分成兩路信號，分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過功率合成器合成，功率合成器的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進行功
東南大學
2021-04-14
硅基未知頻率縫隙耦合式Ｔ型結(jié)間接式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基未知頻率縫隙耦合式Ｔ型結(jié)間接式毫米波相位檢測器是由共面波導傳輸線傳輸線、縫隙耦合結(jié)構、移相器、單刀雙擲開關、Ｔ型結(jié)功分器、Ｔ型結(jié)功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構成，整個結(jié)構基于高阻Ｓｉ襯底制作，其上有四個縫隙耦合結(jié)構，上方的兩個縫隙耦合結(jié)構實現(xiàn)信號的頻率測量，下方的兩個縫隙耦合結(jié)構實現(xiàn)信號的相位測量，在前后縫隙之間有一個移相器；Ｔ型結(jié)功分器和Ｔ型結(jié)功合器是由共面波導傳輸線傳輸線、扇形缺陷結(jié)構和空氣橋所組成；間接式熱電式功率傳感器由共面波導傳輸線傳輸線、兩個終端電阻以及熱電堆所構成，熱
東南大學
2021-04-14
硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器，實現(xiàn)結(jié)構主要由懸臂梁耦合結(jié)構、Ｔ型結(jié)和間接加熱式微波功率傳感器和開關構成。懸臂梁耦合結(jié)構包括兩組懸臂梁，每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處為λ／４。為實現(xiàn)未知頻率毫米波相位的檢測，首先對待測信號的頻率進行檢測。頻率檢測通過測量兩路在所測信號頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處相位差為９０度的耦合信號的合成功率實現(xiàn)；相位檢測通過將兩路在中心頻率３５ＧＨｚ處相位差為９０度的耦
東南大學
2021-04-14
硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)直接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)直接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器，其實現(xiàn)結(jié)構主要包括懸臂梁耦合結(jié)構、Ｔ型結(jié)和直接加熱式微波功率傳感器和開關。懸臂梁耦合結(jié)構包括兩組懸臂梁，每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成，兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處為λ／４。為實現(xiàn)未知頻率毫米波相位的檢測，首先對待測信號的頻率進行檢測。頻率檢測通過利用直接加熱式微波功率傳感器測量兩路在所測信號頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處相位差為９０度的耦合信號的合成功率實現(xiàn)；相位檢測通過將兩路相位差為９
東南大學
2021-04-14
基于硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)直接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的基于硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)直接加熱在線式毫米波相位檢測器，主要由懸臂梁耦合結(jié)構、Ｔ型結(jié)和直接加熱式微波功率傳感器構成。懸臂梁耦合結(jié)構中，兩個懸臂梁在ＣＰＷ中央信號線上方，結(jié)構相同，用于耦合部分待測信號，通過錨區(qū)與Ｔ型結(jié)相連，兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度為λ／８。懸臂梁下方的ＣＰＷ中央信號線上覆蓋了一層Ｓｉ３Ｎ４介電層，用于防止電學短路。參考信號通過Ｔ型結(jié)分成兩路信號，分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過Ｔ型結(jié)合成，Ｔ型結(jié)的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進行功率檢測。最后根據(jù)兩個直接加熱式微波
東南大學
2021-04-14
基于硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)間接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的基于硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)間接加熱在線式毫米波相位檢測器，主要由懸臂梁耦合結(jié)構、Ｔ型結(jié)和間接加熱式微波功率傳感器構成。懸臂梁耦合結(jié)構中，兩個懸臂梁在ＣＰＷ中央信號線上方，結(jié)構相同，用于耦合部分待測信號，通過錨區(qū)與Ｔ型結(jié)相連，兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度為λ／８。懸臂梁下方的ＣＰＷ中央信號線上覆蓋了一層Ｓｉ３Ｎ４介電層，用于防止電學短路。參考信號通過Ｔ型結(jié)分成兩路信號，分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過Ｔ型結(jié)合成，Ｔ型結(jié)的輸出端連接到間接加熱式微波功率傳感器進行功率檢測。最后根據(jù)兩個間接加熱式微波
東南大學
2021-04-14