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用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用 于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中 循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩 定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部 回流結構與多級熱交換器相結合，實現對浸液溫度的多級控制，可以 實現浸沒光刻中對浸液穩定的精確穩定的控制，提供溫控效率。
華中科技大學
2021-04-11
用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部回流結構與多級熱交換器相結合，
華中科技大學
2021-04-14
一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，通過其獲得具有穩定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過管路進口進入該浸液管路，溫控后的浸液通過該浸液管路出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及熱交換器（6），所述浸液管路和工藝冷卻液回路同時流經該熱交換（6），利用該熱交換器（6）完成工藝冷卻液和浸液的熱交換，獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置采用內部回流結構與熱交換器
華中科技大學
2021-04-14
太陽系模型
450mm×250mm×300mm，八大行星模型，大致區分大小（直徑），有公轉軌道，可手動操作。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
空調網關（一控一）
本產品可將多聯式或單元式空調連接至智能家居集中控制系統或BMS系統，以實現智能化監控與控制。
本產品需連接至空調室內機，一個室內機連接一臺本設備。
浙江瑞瀛物聯科技有限公司
2024-12-30
空調網關（一控多）
本產品可將多聯式空調連接至智能家居系統，以實現智能化監控與控制。
浙江瑞瀛物聯科技有限公司
2024-12-30
精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進行熱交換，實現浸液溫度的初級調控；次級熱交換器，其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進行再次熱交換，實現浸液溫度的次級調控；流量伺服閥，其入口與初級熱交換器浸液出口連通，與次級熱交換器形成并聯，用于調節進入次級熱交換器的浸液流量。通過協調控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量，并結合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調節，可實現對浸液溫度的兩級調控，從而獲得溫
華中科技大學
2021-04-14
溴系阻燃劑
山東兄弟科技股份有限公司
2021-08-31
54403太陽系圖書
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
太陽系演示儀
主要用于天文普及教學，能演示太陽系中太陽和九大行星等主要天體的相對位置、大小以及太陽系的結構關系。
蘇州育龍科教設備有限公司
2021-08-23