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項目成果/簡介:隨著支配半導體技術數十年的摩爾定律日益接近其發展極限，多種功能器件集成被認為是超越摩爾定律延續集成電路發展進程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術。多元兼容集成制造技術就是為此而開發的，該技術通過在更大范圍內優選結構/功能材料組合，開發異質集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創新設計和制造的騰挪空間。經過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復合材料的MEMS異質異構制造技術體系，并在多種類型功能器件研發中發揮了關鍵作用，初步展現了其基礎性支撐作用，相關技術獲得2016年度上海市技術發明一等獎。微系統集成發展趨勢多元兼容集成制造技術 獲獎情況上海市技術發明一等獎2016年團隊獲獎國家技術發明二等獎2008年上海市技術發明一等獎2007年超薄超快高熱流密度微通道散熱器上海交通大學團隊在長期研究經驗和技術積累基礎上，創造性地提出了不同高熱導率材料組合構造的復合結構微通道散熱器設計方案，并基于多元兼容集成制造技術完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當的超薄散熱器冷卻能力達到800W/cm2以上，在保留傳統微通道散熱器良好系統兼容性和適用性的基礎上達到了相當高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統超高熱流密度散熱問題提供了一個深具可行性的解決方案。高溫薄膜溫度傳感器研究 發動機燃燒室等極端惡劣環境下（高溫、強振動、強腐蝕等）的工作參數現場監測對傳感器技術是嚴峻挑戰，國內外研究廣泛。交大團隊基于特種材料微納集成制造技術的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應力調控、曲面圖形化和高溫敏感介質等技術上取得了一定突破，成功開發了多種可與現場結構共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環境擾動小、響應快、靈敏度高、可分布式安置等優點，該團隊已經掌握了溫度、應力/應變、熱流等多種高溫狀態參數測量技術，適用溫度在800-1300℃之間。薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結構高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術薄膜溫度傳感器在發動機不同部位測溫需求無線溫度傳感器測溫系統高性能轉接板基于轉接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統的硅轉接板性價比不高，阻礙了廣泛應用。上海交大團隊基于非硅微加工技術的長期積累，突破了硅轉接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉接板。此外，還開發了復合材料非硅轉接板，TCV陶瓷轉接板，TGV玻璃轉接板等各種三維封裝基板，實驗室能夠針對不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發不同功能的專用轉接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個性化解決方案。TSV-3D 高密度封裝概念圖 金屬-聚合物-納米復合材料非硅基轉接板實物圖片知識產權類型:發明專利 、 軟件著作權 、 集成電路布圖設計技術先進程度:達到國內領先水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:國家級

運用先進的相干共振X射線彈性散射，研究了經典的電荷密度波材料三碲化鋯（ZrTe3 ）中的雜質效應。

一種浮法玻璃波筋在線檢測方法，本發明屬于工業檢測技術領 域，目的在于克服現有浮法玻璃檢測設備不能在線檢測玻璃斑馬角的 不足，以有效檢測出浮法玻璃生產中的波筋缺陷，并在線實時測定玻 璃的斑馬角。本發明包括設置檢測系統步驟、預先建立映射表步驟、 邊緣檢測步驟、閾值分割步驟、去除圖像噪聲步驟、條紋細化步驟和 計算斑馬角步驟。本發明檢出率高、檢測速度快、大大降低工人了的 勞動強度，可以滿足浮法玻璃在線檢測斑馬角的實時性要求。 

以光與物質相互作用為例。在發光過程中，一直以來研究者都認為光源只能夠與其所處環境的電磁場模式的本征態相互作用，光源的出射強度和頻率等輻射特征由光源和這些本征態共同決定。這一觀念隨著對自發輻射的深入理解而逐漸形成。標志性的認識包括1930年V. Weisskopf and E. Wigner提出自發輻射是激發的電子與真空場相互作用引起的。1946年E. M. Purcell進一步指出自發輻射的速率是由光源和其所處環境的電磁場模式的本征態共同決定。對這一觀念的深刻理解使得我們可以通過構建和調控光學模式本征態來控制光與物質相互作用，從而對激光器、單光子源、光子晶體、超構材料等光物理與器件的興起與發展起到了舉足輕重的作用。2012年的諾貝爾物理學獎正是授予了在此基礎上發展起來的對單個粒子的量子調控。

本實用新型涉及電源技術，特別涉及一種單相正弦波變頻電源系統，包括系統直流輸入端和系統輸出端， 還包括 DC-DC 變換系統、DC-AC 變換系統、控制系統、輔助電源系統和保護系統；DC-DC 變換系統、DC-AC變換系統串聯連接在系統直流輸入端，DC-AC 變換系統輸出作為系統輸出端；控制系統分別連接 DC-DC 變換系統、DC-AC 變換系統和系統輸出端；輔助電源系統分別連接系統直流輸入端、保護系統、DC-DC 變換系統、DC-AC 變換系統和控制系統；保護系統分別連接系統直流輸入端

一種浮法玻璃波筋在線檢測方法，本發明屬于工業檢測技術領域，目的在于克服現有浮法玻璃檢測設備不能在線檢測玻璃斑馬角的不足，以有效檢測出浮法玻璃生產中的波筋缺陷，并在線實時測定玻璃的斑馬角。本發明包括設置檢測系統步驟、預先建立映射表步驟、邊緣檢測步驟、閾值分割步驟、去除圖像噪聲步驟、條紋細化步驟和計算斑馬角步驟。本發明檢出率高、檢測速度快、大大降低工人了的勞動強度，可以滿足浮法玻璃在線檢測斑馬角的實時性要求。

研究內容 ：該產品是一種高效、價廉、無毒、低鋁、適應性廣且制造 方便的新型無機凈水劑 —聚硅硫酸鋁鐵高效凈水劑。 利用該產品處理靛藍印染廢水、造紙中段廢水、廢紙造紙脫墨廢水， 處理效果佳， COD 去除率、 BOD 去除率均在 90％以上，色度脫除率也在 96％以上，基本達到國家排放標準，這樣的處理效果可實現廢水不經生化 處理，簡化廢水處理工藝，降低廢水處理費用。凈水效果遠優于目前市場 上可獲得的無機型凈水劑，凈水劑

本項目采用隧道結技術實現疊層太陽能電池的制備，擴展電池的光譜收集范圍，提高電池的轉換效率。 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、成果簡介 太陽能是大自然賜予人類最清潔，最豐富的能源資源，目前商用的太陽能電池以晶體硅電池為主，由于晶體硅消耗硅料較多，近年來人們一直致力于開發硅薄膜電池。非晶硅薄膜電池已經實現了商業化生產并有了一定的市場份額，但它仍存在不足之處，包括光致衰減效應和轉換效率不高(約6％)等。本項目在國家863計劃課題(2006AA03Z219)支持下，開展了以多晶硅薄膜、微晶硅薄膜和納米晶薄膜的制備和相關材料的單結與疊層硅基太陽能電池關鍵技術研究，已經申請發明專利5項，發表科研論文20余篇。 三、創新點以及主要技術指標 1.利用LPCVD方法和自擴散技術生長多晶硅p-n結，結合層轉移技術制備多晶硅薄膜太陽能電池； 2．采用金屬誘導晶化和快速熱處理技術實現優質多晶硅薄膜的制備并在低溫下制備太陽能電池； 3.在PECVD和HWCVD生長硅薄膜時，通過生長溫度，氣體流量，氫氣稀釋比，腔室氣壓等參數實現微晶硅或者納米晶薄膜的生長； 4.采用雙層膜技術減小表面處入射光的反射并實現表面鈍化，提高入射光的收集率和少數載流子壽命； 5.采用高低結結構增加光生載流子的收集效率； 6.采用隧道結技術實現疊層太陽能電池的制備，擴展電池的光譜收集范圍，提高電池的轉換效率。 四、知識產權及獲獎 國家863項目(2006AA03Z219)