一種無(wú)衍射光空間直線度基準(zhǔn)的發(fā)生裝置
無(wú)衍射光空間直線度基準(zhǔn)的發(fā)生裝置,包括依次位于同一光路上的激光器、光學(xué)調(diào)整器和無(wú)衍射光發(fā)生器,光學(xué)調(diào)整器光學(xué)調(diào)整器必須保證光束的發(fā)散條件:理論比值ω(R)/ω<SUB>0</SUB>≥10,如小焦距透鏡或由焦距大于-100mm 的透鏡組和精密位置調(diào)整器構(gòu)成。上述無(wú)衍射光發(fā)生器可以為錐鏡、環(huán)縫與透鏡組件、計(jì)算機(jī)全息片或二元光學(xué)組件。本發(fā)明可在激光器與光學(xué)調(diào)整器之間設(shè)有擴(kuò)束鏡和空間濾波器。本發(fā)明將無(wú)衍射光理論和技術(shù)應(yīng)用于直線度誤差測(cè)量技術(shù),很好地解決了現(xiàn)有中、長(zhǎng)距離直線度誤差測(cè)量
華中科技大學(xué)
2021-04-14