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微納米結構成形是光電子制造中的核心工藝之一。壓印光刻克服了傳統光學光刻中光學衍射效應的限制，是一種經濟、高效、高分辨的結構成形方法。 正在探索的壓印工藝方法包括：UV-NIL、模板電誘導自組裝納米成形、電潤濕驅動納米壓印等。   正在探討壓印光刻的應用領域包括：集成電路(IC)、微機電系統(MEMS)、生物微流控、光波導、光或磁存儲、有機光電子、平板顯示等器件的制造。

激光光源, 投影黑科技 同尺寸更亮，同亮度更小 激光光源亮度高，在圖像色彩、均勻度、穩定性、能耗、使用壽命、健康環保和價格方面有明顯的優勢 實測真亮度, 不虛標！ 800流明亮度, 告別“灰蒙蒙” ALPD®激光光源，亮度達800流明，不懼燈光、環境光，有效解決開會關燈的尷尬；在明亮的環境下，也能看到清晰亮麗的投影畫面。 影院級色彩標準，真實色彩還原 ALPD®激光顯示技術，色彩亮度等于白色亮度輸出色，色彩豐富，畫面均衡，再現自然本色。 2000:1對比度，畫面更通透 畫面過渡真實，灰階顯示細膩，畫面高光位和黑位細節清晰可見，投射出更加通透和銳利的畫面。 25000小時光源壽命,衰減低 一直都很亮，不會用著用著就變暗 應用ALPD激光光源壽命長達25000小時，在整個壽命期內，色彩飽和度和亮度衰減幅度也很小，不用換燈泡，省錢省心免維護。 漫反射成像原理，綠色健康光源 交互式平板、LED光源中保留了大量藍光，長期觀看，容易造成眼睛的傷害，而激光投影機通過反射式原理，自然光漫反射，減少了藍光對眼睛的傷害。 無線同屏，小屏變大屏 無線多屏互動，wifi無線傳輸，不受線纜束縛，資料文檔秒傳大屏幕，兼容ios、windows、android等主流操作系統，支持小明助手、miracast、airplay同屏推送功能，影音、游戲、音樂隨手分享到大屏幕 全自動對焦，智能梯形校正開機就是清晰畫面 具備自動對焦、智能梯形校正功能，立刻還原清晰方正畫面，想怎么投就怎么投。 全鋁合金金屬外殼一體成型工藝 與 MacBook 表面工藝一致 航空級鋁材，陽極氧化一體金屬機身，200目精細噴砂，128道工藝，苛求精致，無可挑剔 性能強勁 4K投影不卡頓 強勁內動力，從CPU開始！采用四核2.0處理器及強大的八核Mali450專業圖形處理器性能強勁，穩定流暢不卡頓 真正影院120:1級別NXGA 斕曦非圓結構鏡頭 八片式NXGA斕曦全玻璃鏡頭，懸浮 搭載，締造出非圓結構鏡頭系統 全通道激光3D,震撼畫面躍屏而出 光峰助手APP，移動商務全兼容 全面兼容PPT、Word、Excel、PDF、圖片、視頻存儲在移動設備里的演示文件，均可通過APP智能管理、一鍵投屏 不只是遙控器，還是紅外激光筆 弧形人體工學設計，追求更舒適的操控，一鍵切換紅外激光筆，讓商務演示可圈可點。 界由我定，想投多大就多大 超大屏幕，百吋高亮大屏 讓你的觀點更震撼 實拍應用場景展示 小空間大屏演示，隨時隨地移動辦公百吋大屏玩賽車游戲，這種震撼是電腦體驗不能比擬的浪漫時刻，在家享受大屏好戲換個高亮大屏，閱讀新聞、看股票，體驗相當好

團隊正積極布局研發工業級超短脈沖激光器，并已經突破了一系列關鍵技術，自主研發的全波段超短脈沖生成技術已處于國際領先水平，可提供覆蓋“可見光-近紅外-中紅外”的超快激光器，多款產品已獲得ISO9000質量體系認證以及歐盟CE安全資質認證。主要創新成果為掌握從鎖模光開光、超快種子源、光纖放大、諧波產生（倍頻）到最后組裝工藝一整套完整的超快激光技術方案。目前，商業上的光開關器件大多采用基于半導

成果介紹一種高性能石墨烯柔性電子皮膚，該電子皮膚結合了一種具備脫水性的商業化妝品膠體以及可編程的激光刻寫石墨烯，在無毒、環保、可大量印刷的制備加工工藝下，具有輕薄、貼合皮膚、可降解、高耐用性的特性，實現了高于500的應變系數、大于75[[[%]]]的拉伸范圍以及穩定的電阻變化能力。該柔性表皮壓阻式傳感器可應用在生命體征監測、人機交互等領域中，目前已經將其初步應用在手勢識別之中，并做出了一系列人機交互應用。技術創新點及參數采用綠色環保的新工藝，解決了傳統激光刻寫石墨烯脆弱的問題，實現了可編程激光刻寫石墨烯的耐摩擦性、耐用性改善，且傳感器可降解回收利用。

本項目屬于數字化設計與制造領域，采用三維激光線掃描物體表面，快速采集物體表面形狀，在計算機中建立三維 CAD 模型，縮短產品設計周期，實現數控批量生產。測量精度： ±0.01mm；測量速度：每小時采集 800~ 1600 萬點；測量范圍：測量深度250mm，測量面積不受限制

幾年，隨著消費電子（手機、智能手表等）、生物醫療需求的快速發展，尤其是代表下一代柔性移動顯示屏OLED的巨大應用市場驅動下，超快激光精密微加工產業在世界范圍內迅速增長。與傳統的納秒長脈沖相比，脈寬小于15皮秒的超快激光器用于材料加工時，由于脈沖的持續時間短于材料的熱弛豫時間，在加工過程中避免熱效應，基本不帶來附加損傷和毛刺，適合于微米乃至納米精度的超精細冷加工。超快激光的瞬間功率極大，幾乎可以和任何材料相互作用，因此適用于超快激光加工的材料范圍幾乎不受限制，尤其有優勢的加工對象包括玻璃、藍寶石、陶瓷、太陽能薄膜、半導體晶圓、特種合金、精密醫療器件等。

高性能的相干光源是基礎光物理研究和集成光子學應用的關鍵前提之一。近年來，具有超高品質因子的回音壁模式光學微腔已經成為研究各種新型高效光源的重要平臺，實驗上已經獲得了包括宇稱-時間反演對稱激光、軌道角動量激光和微腔光學頻率梳等。然而，回音壁微腔模式存在的固有手征對稱性導致腔中激光場通常是等強度相向傳輸的，嚴重阻礙了諸多光子學器件應用的發展，例如單向光發射、全光寄存器和非互易光傳輸等。迄今，要獲得具有單向性的回音壁微腔手征激光，通常需要直接打破光學諧振腔的幾何手征對稱性。這種方法得到的激光方向性是固定的，難以動態調控其出射性質，且對諧振腔的形狀設計和工藝制備要求較高。

本項目提出一種創新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術，并對該技術相關的壓印和脫模工藝機理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優化、壓印光刻設備的關鍵技術等進行研究和技術開發。其基本原理為：以電子束直寫刻蝕(或其它刻蝕技術)生成IC圖型母板(模具)，以母板(模具)步

本激光切割是激光加工行業中一項重要的應用技術，也是激光加工中應用最多的加工方 式。我國的數控激光切割機生產，經過近20年的發展已取得了很大成就。我國的激光切割機產 品與國外先進產品相比，還有較大差距，主要表現在切割機的運行速度低，動態精度差，配套 功能不夠，切割工藝參數不完善和切割斷面質量不易保證等。 為了使得新型切割機床的切割效率更高，切割質量進一步提升，本項目專門開發出了一款 更加高效的軟件控制系統。通過該軟件來控制嵌入式運動控制器，進而控制三個伺服電機的運 動。利用機構運動學原理，推導出兩個并聯結構的運動變換模型。采用VC++編程語言，結合 了開放式控制系統的多層次、模塊化設計方法在Windows操作系統平臺上編寫了控制軟件。 本項目在傳統激光切割機床的基礎上，提出了一種新型激光切割機床的結構串并聯激光切 割機床，在激光切割的過程中，可以自動合理地選擇串并聯桿件進行控制執行機構，使得切割 效率更高，機床振動減小。 本項目為了保證控制系統的安全可行性，對多個方面進行了研究。首先對串并聯結構的插 補算法進行研究，提高了運動部件運動的合理性以及切割速度；其次，對該串并聯結構進行了 干涉檢驗和奇異性分析，驗證了該機構的可行性；再次，對在切割過程中的共邊圖形以及邊界 等問題進行了深入研究和規劃，使得圖形的加工次序更加合理；最后，本系統需要根據數控G 代碼進行控制，將DXF文件中的加工圖案轉化為G代碼具有非常重要的作用，所以對DXF轉G 代碼的規則進行了更加深入的分析，并完成軟件操作功能。

本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用 于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中 循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩 定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部 回流結構與多級熱交換器相結合，實現對浸液溫度的多級控制，可以 實現浸沒光刻中對浸液穩定的精確穩定的控制，提供溫控效率。