基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器及檢測方法
基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器及檢測方法,檢測器制備在高阻硅襯底上,由共面波導(dǎo)傳輸線、兩個懸臂梁結(jié)構(gòu)、功合器以及兩個間接熱電式微波功率傳感器所構(gòu)成。其中共面波導(dǎo)傳輸線包括信號線和地線;懸臂梁結(jié)構(gòu)包括懸臂梁的梁和錨區(qū),懸于信號線上的介質(zhì)層上方;功合器包括不對稱共面帶線ACPS信號線、地線和隔離電阻;間接熱電式微波功率傳感器包括終端電阻、金屬熱偶臂、半導(dǎo)體熱偶臂、歐姆接觸區(qū)和直流輸出塊。本發(fā)明檢測器結(jié)構(gòu)簡單,電路尺寸較小,可實(shí)現(xiàn)微波相位的在線式檢測。
東南大學(xué)
2021-04-14