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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
鋁酸鋰納米片多功能復合涂料
（專利號：ZL 201510055937.3） 簡介：本發明公開了一種鋁酸鋰納米片多功能復合涂料，屬于功能材料領域。鋁酸鋰納米片多功能復合涂料的質量百分比組成如下：鋁酸鋰納米片18?35％、納米氧化鋯5?15％、萜烯樹脂乳液11?20％、苯乙烯丙烯酸酯共聚合物乳液6?12％、丙二醇甲醚醋酸酯3?8％、甲基硅油乳液3?8％、水20?35％、聚乙二醇1?3％、聚丙烯酰胺0.2?1％、丙二醇0.1?1％、聚氧丙烯甘油醚0.05?0.2％、二甘醇0.5?3％、聚醚改性聚二甲基硅氧烷0.05?0.5％。本發明所提供的鋁酸鋰納米片多功能涂料具有防腐、阻燃、防霉抗菌、防污、防水及保溫等多種功能，在建筑物及設備用涂料方面具有良好的應用前景。
安徽工業大學
2021-04-11
KSQ-500電池極片卷繞設備開發
研究領域 以企業的生產需要為出發點，以研發新產品、新設備、新工藝為目標，進行光機電一體化成套設備及新技術的研究與開發，解決企業發展過程中的瓶頸問題。圍繞創新制造工藝、機電控制及自動化，開展綠色化、系統化智能機電一體化技術及其在生產過程中的應用研究。主要研究方向有：（1）綠色新能源生產技術及設備（2）特種加工機械（3）新型包裝機械（4）根據企業實際需求定制光機電一體化成套設備（生產線）的研發。科研成果及簡介 所承擔主要項目： 鋅空燃料電池極片干嵌法成形過程控制的理論與技術(國家自然基金) ·高速水墨柔性印刷模切機CL1224 （國家科技部） ·機械軟起動控制系統的開發（天津市教委） ·柔性傳動行星輪差速機構的研究 （河北省教育廳） ·機械液壓自動控制軟啟動系統（石家莊科技局） ·自動分頁裝訂機的開發研究（河北省教委） 橫向課題： 紙管機開發（天津巨業衣架制造有限公司） 盤料螺紋鋼滾絲機（天津市天鵬建筑器材有限公司） 五金平臺自動機械手的研制（慶輝五金制品有限公司） 乒乓膠皮海綿上料系統的研發（天津七二九體育器材開發有限公司） 電池極片卷繞設備（海裕百特鋰能設備有限公司） 鋰電池極片軋制卷繞線 ； 流延膜擠壓收卷裝置及控制系統的合作研發； 瓦棱機生產線控制系統的研制； KSQ-500電池極片卷繞設備開發 木工挖船機（威盧克斯有限公司） WS-260衛生巾生產線獲獎與專利一種布料機 發明專利 專利號：200910068754.x一種雙向水泥土攪拌樁機 發明專利 專利號：200910069172.3一種雙向水泥土攪拌樁機 發明專利 專利號：200910069171.9一種雙向水泥土攪拌樁鉆桿 發明專利 專利號：200910069170.4一種收獲機 發明專利 專利號：200910069269.4可轉讓項目 可承擔（合作開發）科研項目與技術合作光機電一體化成套設備（生產線）的研發
河北工業大學
2021-04-11
一種新型片上微型電子源
真空電子器件（如X射線管、微波管、陰極射線管等）廣泛應用于航空航天、醫療健康和科學研究等重要領域，但面臨體積大、功耗高和難集成等問題，解決這些問題的一個方案是實現微型化的片上真空電子器件。電子源是所有真空電子器件必不可少的關鍵元件，當前，電子源的微型化和片上化是限制真空電子器件微型化和片上化的主要瓶頸之一，因此高性能的片上微型電子源是真空電子學領域急需的一種電子元器件。 片上微型電子源的研究始于1960年，目前已有多種片上微型電子源。然而，現有的片上微型電子源的整體發射電流較小，很難滿足較多的應用需求。 本項目研發出一種新型的片上微型電子源，具有優良的綜合性能，有望在片上微真空系統和微小型真空電子設備領域取得突破。
北京大學
2021-02-01
漿水菌素片與漿水合生元膠囊
漿水是一種中國西北傳統特色發酵食品，已有幾千年的悠久歷史。研究發現漿水不僅具有促進胃蛋白的分泌、降低血清膽固醇、凈化胃腸作用，還能使腸道微生物保持微生態平衡，對肥胖、高血壓、糖尿病、消化系統癌癥的預防均具有良好地效果。 隨著國民健康意識的不斷增強，大眾對于健康產品的品質與日俱增。益生菌因其對健康人群與亞健康人群均有的保健功能而受到了廣泛的關注。益生菌制劑與其他的藥物不同，它能起到―已病輔治、未病防治、無病保健‖的作用。漿水中含有大量益生菌，如乳酸菌及酵母菌等，這些
蘭州大學
2021-04-14
一種復合波片光軸對準方法
本發明公開了一種復合波片光軸對準方法，首先，將待對準的復合波片中的一個單波片固定不動，將另外一個單波片與旋轉裝置相連，使兩個單波片之間產生相對轉動；然后將偏振光垂直投射在待對準復合波片上，并用探測器探測從待對準復合波片上出射的光強信號，分析得到復合波片的等效光譜參數，與設計的理想值進行比較，得到其差值的波動曲線；最后轉動旋轉裝置，使兩個單波片產生相對轉動，檢測等效光譜參數與理想值之間差值的波動幅度變化，直至波動消失或者波動幅值小于限定值，則可認為完成了復合波片光軸對準。該方法可以實現對復合波片光軸進
華中科技大學
2021-04-14
基于全景影像的街景面片優化方法
本發明公開了一種基于全景影像的街景面片優化方法，包括以下步驟：步驟 1：獲取車載 LiDAR 點 云數據和全景影像，并將全景影像與車載 LiDAR 點云數據進行配準；步驟 2：將車載 LiDAR 點云數據 分割為多個面片，獲得面片與全景影像站點的對應關系，將面片投影到全景影像上，得到面片對應的透 視平面影像；步驟 3：對透視平面影像進行分析，刪除樹木點，并進行面片拉伸。本發明基于全景影像 優化街景面片，在點云數據的結果上進一步提高面片的精度和準
武漢大學
2021-04-14
三葉片立軸風力機
（專利號：ZL 201310493923.0） 簡介：本發明公開一種三葉片立軸風力機，屬于風能發電設備技術領域。該風力機包括風向舵、上轉臂、立柱、下轉臂、減速箱、傳動箱、箱體、立軸、葉片等；風向舵位于上轉臂的上方并通過立軸穿過空心立柱與減速箱的輸入軸聯接，立柱上端與上轉臂固接而下端與下轉臂固接形成回轉支架，減速箱上部固定于下轉臂而下部固定于箱體，三個葉片均勻布置在以立柱軸線為中心的圓周上，葉片上端支承于上轉臂，葉片下端支承于下轉臂，三葉片
安徽工業大學
2021-01-12
一種自帶座椅的暖氣片
一種自帶座椅的暖氣片，屬于暖氣片技術領域，是由暖氣片，擋塊，水管，座椅，第一軸孔，銷軸，座椅支架，第二軸孔，暖氣片支架組成的，其特征在于：擋塊與水管固定在暖氣片上，第一軸孔位于座椅上，座椅通過第一軸孔嵌套在水管上，并且座椅可以繞水管旋轉，銷軸固定在座椅上，第二軸孔位于座椅支架上，座椅支架通過第二軸孔嵌套在銷軸上，并且座椅支架可以繞銷軸旋轉，暖氣片支架固定在暖氣片上，并且通過螺栓連接在地面上，用來固定整個裝置，整體結構集成了暖氣片與座椅兩種功能，十分方便人們尤其是老年人坐在上面緊靠著暖氣片來取暖，結構簡單，方便實用。
浙江大學
2021-04-13
一種片材真空拾放裝置
本發明公開了片材真空拾放裝置，包括：移動機構、擺動與真空拾取機構(90)和糾姿機構(80)，所述移動機構用于實現 X 軸、Y 軸和Z 軸三個方向上的直線移動；所述擺動與真空拾取機構安裝在 Z 軸移動機構上，用于執行片材的拾取和釋放，包括氣缸安裝座(904)、擺動氣缸(903)、旋轉軸(908)、固定塊(906)、氣管接頭(905)、真空吸盤(907)以及吸附連接板(909)等；所述糾姿機構用于對擺動與真空拾取機構執行 Z 軸方向上的角度調節，包括執行器安裝板(801)、線性執行器(802)、彈簧拉緊元件(807)、連接塊(808)以及氣缸連接板(810)等。通過本發明，能夠實現對片材更為精準的拾取和釋放動作，并具備結構緊湊、可靠性高和便于操作等方面的優點。
華中科技大學
2021-04-11