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高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺(tái)
段培永
段培永，教授，研究生學(xué)歷，工學(xué)博士學(xué)位，中共黨員。1999年畢業(yè)于上海交通大學(xué)自動(dòng)化系控制理論與控制工程專業(yè)，獲工學(xué)博士學(xué)位。山東師范大學(xué)“東岳學(xué)者”拔尖人才、兼職博士生導(dǎo)師。山東省有突出貢獻(xiàn)的中青年專家，兼任山東省自然基金委員會(huì)委員、山東省高校設(shè)置委員會(huì)委員、山東省自動(dòng)化學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)。中國(guó)高等教育學(xué)會(huì)科技服務(wù)專家指導(dǎo)委員會(huì)副主任委員，齊魯工業(yè)大學(xué)（山東省科學(xué)院）黨委副書(shū)記、校長(zhǎng)（院長(zhǎng)）。
段培永
2025-04-20
維意真空手套箱金屬有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)支持定制
SEV-400手套箱金屬有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)
真空腔室：采用立式方形結(jié)構(gòu)，前門為水平滑開(kāi)式，位于手套箱體內(nèi)部，前開(kāi)門便于蒸發(fā)材料和樣片在保護(hù)環(huán)境下裝卸，后開(kāi)門便于真空室的清理維護(hù)（后門帶鎖緊裝置在充氣條件下保持腔室密閉與大氣環(huán)境隔離），整機(jī)位于手套箱體下面，節(jié)約占地面積；
真空系統(tǒng)：國(guó)產(chǎn)分子泵作為主抽泵，真空極限高達(dá)2.0?10-5Pa，另可選進(jìn)口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵，真空極限高達(dá)3.0?10-6Pa；
真空抽速：大氣～5?10-4Pa≤30min（手套箱環(huán)境中）；
基片臺(tái)：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板，基片臺(tái)公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～20r/min可調(diào)，襯底可選擇加熱（室溫～300℃可調(diào)可控）或水冷，基片臺(tái)可選升降，源基距最大350mm；
蒸發(fā)源及電源：4～6組歐美技術(shù)金屬或有機(jī)束源爐蒸發(fā)源可選，多元共蒸獲得復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜，功能強(qiáng)大，性能穩(wěn)定；真空專業(yè)蒸發(fā)電源，恒流/恒功率控制，電流、功率可以預(yù)先設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)一鍵啟動(dòng)和停止的自動(dòng)控制功能；
膜厚監(jiān)控儀：采用國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測(cè)和控制蒸發(fā)速率、膜厚；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空。
北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
2025-04-27