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一種利用電磁原理的壓力傳感器及其工作方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
傳感器結(jié)構(gòu)
所屬領(lǐng)域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種壓力傳感器，包括襯底、薄膜、永磁體、金屬線圈和導(dǎo)體懸臂梁，永磁體固定連接在襯底的底面，襯底的上部設(shè)有空腔，薄膜生長在襯底的頂面，且薄膜覆蓋在空腔的上方；金屬線圈固定連接在薄膜的頂面，導(dǎo)體懸臂梁固定連接在襯底的頂面，且導(dǎo)體懸臂梁位于金屬線圈上方。該壓力傳感器結(jié)構(gòu)簡單，且利用電磁原理實現(xiàn)壓力測量，過程簡單。同時，本發(fā)明還提供壓力傳感器的工作方法，易于實現(xiàn)。
項目階段:
小批量或小范圍應(yīng)用
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