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多元
氧化物納米薄膜及薄膜晶體管
北京工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
合成
多元
納米顆粒材料的旋流霧化燃燒器
1. 痛點(diǎn)問題 氧化物微納米顆粒在儲能材料、高端光學(xué)材料、高性能氣體傳感器、高端催化劑等領(lǐng)域均有廣闊的應(yīng)用前景。然而工業(yè)制備中現(xiàn)有的共沉淀、凝膠、浸漬等濕法合成方法,由于其原理和工藝上的限制,存在不易放大、生產(chǎn)不連續(xù)、產(chǎn)線通用性弱、廢液污染、摻混不均勻等問題,尤其在被國外企業(yè)壟斷的高端高熵多元氧化物顆粒生產(chǎn)方面,存在很大挑戰(zhàn)。 2. 解決方案 采用火焰合成方法得到納米顆粒具有一步工藝、純度高、易放大、成本低、污染排放少、可控性相對較高的特點(diǎn)。在各種火焰形式中,本技術(shù)設(shè)計了一種基于旋流強(qiáng)化混合的霧化火焰合成系統(tǒng),在保證較高產(chǎn)量的同時降低了高溫區(qū)停留時間,能夠顯著提高火焰合成納米顆粒的產(chǎn)量和生產(chǎn)效率,可以為各種單元、多元納米氧化物粉體的生產(chǎn)提供定制化服務(wù)。 合作需求 為實(shí)現(xiàn)本技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化和市場化,主要需求包括: 1.一支專精于納米材料合成與收集方面的研發(fā)團(tuán)隊,能夠承接專利技術(shù),并大幅拓展至規(guī)模化、定制化產(chǎn)業(yè)生產(chǎn); 2.300平米以上的科學(xué)實(shí)驗場地與300萬以上的啟動資金; 3.與光學(xué)、電學(xué)領(lǐng)域高端粉體需求方有較廣泛的聯(lián)系,能夠協(xié)助產(chǎn)品、技術(shù)拓展市場。
清華大學(xué)
2021-12-29
多元
合金化復(fù)合變質(zhì)處理高鉻鑄鐵錘頭
目前國內(nèi)外用于制造破碎機(jī)錘頭的材質(zhì)主要有高錳鋼、低合金鋼和高鉻鑄鐵三種。高錳鋼具有加工硬化特點(diǎn)。然而,高錳鋼錘頭在實(shí)際使用過程中由于受到的沖擊力有限(中、低應(yīng)力),所以錘頭表面不能被高度硬化,加工硬化后的表面硬度經(jīng)常在HB 400以上,致使高錳鋼錘頭耐磨性較差。 低合金貝氏體或馬氏體鋼錘頭由于具有硬度高、韌性好、耐磨性能優(yōu)良以及成本低廉等優(yōu)點(diǎn),目前在市場中占有一定的份額。然而,低合金鋼錘頭像高錳鋼錘頭一樣耐磨性仍然不十分理想。高鉻鑄鐵是目前被公認(rèn)的最耐磨的鐵基材料之一。用高鉻鑄鐵 Cr20Mo2Ni
江蘇大學(xué)
2021-04-14
生物
組織攤片烤片機(jī)
1.微電腦控制,中文界面,液晶顯示,觸摸鍵操作,簡潔、直觀、方便。全程電腦自動控制,開機(jī)自動加熱并恒溫。2.分?jǐn)偲⒖酒⒑嫫齻€功能區(qū)。3.溫度控制:0-99 ℃預(yù)設(shè),恒溫精度±1℃
孝感奧華醫(yī)療科技有限公司
2025-01-21
基于故障
多元
信息的新型保護(hù)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用
一、立項背景 繼電保護(hù)是保障電網(wǎng)安全運(yùn)行的第一道防線。自上世紀(jì)80年代微機(jī)保護(hù)應(yīng)用以來,歷經(jīng)多次更新?lián)Q代,我國繼電保護(hù)技術(shù)一直處于世界先進(jìn)水平,為保障電網(wǎng)安全做出了突出貢獻(xiàn)。隨著智能電網(wǎng)的發(fā)展、超/特高壓遠(yuǎn)距離輸電大通道的建設(shè)、區(qū)域電網(wǎng)的廣泛互聯(lián)和波動性新能源的規(guī)模化接入,我國已建成世界上規(guī)模最大、結(jié)構(gòu)最復(fù)雜的電網(wǎng)。電網(wǎng)的快速發(fā)展給繼電保護(hù)帶來了嚴(yán)峻挑戰(zhàn): 1、后備保護(hù)方面,由于電網(wǎng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,運(yùn)行方式多變,造成后備保護(hù)定值更難整定,保護(hù)選擇性和靈敏性的矛盾更加突出,保護(hù)拒動誤動風(fēng)險并存。國內(nèi)已發(fā)生多起類似“6.18”西安南郊站,因后備保護(hù)靈敏性不足拒動,造成變壓器燒毀的重大事故;國際上屢屢發(fā)生的因潮流轉(zhuǎn)移過負(fù)荷,后備保護(hù)誤動引發(fā)的如美加“8.14”、印度“7.30”等大停電事故,也不斷地對我國電網(wǎng)敲響警鐘。 2、主保護(hù)方面,超/特高壓電氣設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜、線路距離長,短路電流變化大,造成主保護(hù)對變壓器匝間短路、線路高阻接地等輕微故障的反應(yīng)靈敏性下降。“11.22”濟(jì)南特高壓泉城站變壓器爆炸正是由于保護(hù)對起始發(fā)生的輕微故障未能靈敏切除,引起事故擴(kuò)大,造成了重大人員傷亡和財產(chǎn)損失。 這些問題已成為我國電網(wǎng)安全運(yùn)行的重大隱患!問題的癥結(jié)在于傳統(tǒng)保護(hù)僅利用設(shè)備自身的電氣量信息,在復(fù)雜電網(wǎng)環(huán)境下,保護(hù)反應(yīng)的電氣量在故障和非故障間差異變小甚至混疊,依靠定值配合無法保證保護(hù)可靠正確動作。不改變傳統(tǒng)保護(hù)工作模式,僅對保護(hù)判據(jù)進(jìn)行修正或調(diào)整定值,只能在一定程度上單方面地解決保護(hù)拒動或誤動的問題。 二、發(fā)明思路 突破保護(hù)僅利用設(shè)備自身信息的限制,綜合利用站間保護(hù)關(guān)聯(lián)邏輯量、站域故障全過程電氣量等信息,對后備保護(hù)、主保護(hù)、系統(tǒng)構(gòu)成模式進(jìn)行全面創(chuàng)新,構(gòu)建“站域集中-站間分布式”新型保護(hù)系統(tǒng)。 圖1 技術(shù)發(fā)明總體思路 三、發(fā)明方案 技術(shù)發(fā)明點(diǎn)1:基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù) 傳統(tǒng)后備保護(hù)既存在對相鄰元件故障反應(yīng)能力不足,保護(hù)拒動的問題,又存在受過負(fù)荷和系統(tǒng)振蕩影響,保護(hù)誤動的問題。針對上述問題,該項目發(fā)明了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系在線快速跟蹤和可靠性校核方法;創(chuàng)造性地將故障的空間分布特征映射為站間的保護(hù)關(guān)聯(lián)邏輯量信息,首創(chuàng)了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù),攻克了保護(hù)不誤動和不拒動無法兼顧的難題。 發(fā)明點(diǎn)1.1:發(fā)明了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系在線快速跟蹤和可靠性校核方法,為保護(hù)可靠利用站間信息奠定了基礎(chǔ)。 快速跟蹤和可靠識別電網(wǎng)拓?fù)涞淖兓_定保護(hù)的關(guān)聯(lián)關(guān)系,是保護(hù)利用站間信息首先要解決的關(guān)鍵問題。發(fā)明了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系在線快速跟蹤和可靠性校核方法,關(guān)鍵技術(shù)包括:1)提出了基于虛擬阻抗矩陣的保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系分析方法,創(chuàng)造性地將開關(guān)狀態(tài)虛擬為支路阻抗并構(gòu)建節(jié)點(diǎn)虛擬阻抗矩陣,在線微調(diào)矩陣元素即可實(shí)現(xiàn)開關(guān)狀態(tài)的快速跟蹤,跟蹤時間由秒級縮短至毫秒級,為后備保護(hù)快速動作提供了可靠保障;2)發(fā)明了電氣量和開關(guān)量信息雙重約束的關(guān)聯(lián)關(guān)系可靠性校核方法,首次將電氣量信息引入保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系識別,通過開關(guān)量信息和電氣量信息實(shí)時匹配校驗,實(shí)現(xiàn)了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的可靠在線校核。 發(fā)明點(diǎn)1.2:首創(chuàng)了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù),攻克了保護(hù)不誤動和不拒動無法兼顧的難題。 電流元件、方向元件、阻抗元件等保護(hù)邏輯量信息,蘊(yùn)涵著故障方向、故障范圍等故障直接特征,并且信息交互簡單、可靠。根據(jù)不同位置保護(hù)邏輯量反應(yīng)故障的差異化特征,發(fā)明了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù)。關(guān)鍵技術(shù)包括:1)首次將電網(wǎng)故障的空間分布特征映射為保護(hù)邏輯量信息,按近后備和遠(yuǎn)后備靈敏性要求設(shè)定保護(hù)范圍,實(shí)現(xiàn)了邏輯量信息與故障分布特征的關(guān)聯(lián)和匹配,解決了保護(hù)強(qiáng)依賴定值的問題;2)首創(chuàng)了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù)(如圖2所示)。利用邏輯量對故障反應(yīng)的交叉重疊特征,根據(jù)動作一致性原則,既實(shí)現(xiàn)了故障設(shè)備的快速準(zhǔn)確識別,又從根本上攻克了系統(tǒng)振蕩及過負(fù)荷造成保護(hù)誤動的難題。 基于站間邏輯量信息的后備保護(hù)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)近后備保護(hù)全范圍速動,遠(yuǎn)后備保護(hù)延時由1.5s以上縮短至0.5s以內(nèi);在原理上保證了對相鄰元件故障反應(yīng)的靈敏性,避免了后備保護(hù)拒動導(dǎo)致的重大事故發(fā)生;不受系統(tǒng)振蕩和過負(fù)荷影響,避免了保護(hù)誤動引發(fā)的連鎖跳閘和系統(tǒng)性事故發(fā)生。 圖2 基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù) 技術(shù)發(fā)明點(diǎn)2:基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù) 現(xiàn)有電氣設(shè)備主保護(hù)僅反應(yīng)故障外在表現(xiàn)特征,在變壓器匝間短路及線路高阻接地等輕微故障情況下,外部故障與內(nèi)部故障特征差異不明顯,易造成保護(hù)拒動。為解決上述問題,該項目基于故障的物理本質(zhì)特征,揭示了故障導(dǎo)致電氣設(shè)備模型參數(shù)變化的機(jī)理,利用故障全過程電氣量信息,構(gòu)建了可靈敏反應(yīng)設(shè)備參數(shù)變化的故障模型,發(fā)明了基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù),顯著提升了對輕微故障的反應(yīng)能力。 發(fā)明點(diǎn)2.1:首創(chuàng)了可反應(yīng)變電站電氣設(shè)備參數(shù)變化的故障模型,從物理本質(zhì)上消除了非故障因素對主保護(hù)靈敏性的影響。 突破主保護(hù)僅反應(yīng)故障外在表現(xiàn)特征的局限,利用設(shè)備故障全過程全相電氣量信息,建立了對故障高靈敏而對非故障不敏感的模型。關(guān)鍵技術(shù)包括:1)發(fā)明了基于線路壓降-阻抗聯(lián)合分布的故障網(wǎng)絡(luò)模型,建立了線路阻抗、過渡電阻及分布電容壓降之間的幅值、相位關(guān)聯(lián)關(guān)系,創(chuàng)建了僅保留線路阻抗壓降分布情況的故障網(wǎng)絡(luò)模型(如圖3所示);2)發(fā)明了基于電壓磁鏈方程的變壓器故障模型,建立了變壓器高、中、低壓各側(cè)繞組電壓與主磁鏈、漏磁鏈的等值平衡關(guān)系,消除主磁鏈的非線性成分,建立了僅反應(yīng)漏磁鏈變化的變壓器故障模型(如圖4所示),從原理上擺脫了分布電容電流、負(fù)荷電流、勵磁涌流等非故障因素的影響。 發(fā)明點(diǎn)2.2:發(fā)明了基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了保護(hù)對輕微故障反應(yīng)能力的大幅提升。 利用站域故障全過程電氣量信息,反應(yīng)故障前后模型參數(shù)的變化情況以及三相不一致程度,發(fā)明了基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù)。關(guān)鍵技術(shù)包括:1) 發(fā)明了基于阻抗壓降變化特征的線路主保護(hù)技術(shù),構(gòu)建了線路壓降-阻抗參數(shù)關(guān)聯(lián)矩陣,通過實(shí)時追蹤矩陣中各元素的變化量以及元素間的差異,準(zhǔn)確識別故障線路及故障位置(如圖5所示);2) 計及CT誤差、變壓器有載調(diào)壓對保護(hù)的影響,實(shí)時計算各相等效漏感參數(shù)的突變量及不一致程度,發(fā)明了基于等效漏感參數(shù)變化特征的變壓器主保護(hù)技術(shù)(如圖6所示),顯著提升了保護(hù)對變壓器輕微匝間短路識別的靈敏性。 基于故障全過程電氣量信息的主保護(hù)技術(shù)可以做到變壓器匝間短路識別死區(qū)由5%降至2%,500kV線路接地故障過渡電阻反應(yīng)能力由300Ω提升至1000Ω,故障定位誤差由5%下降至1.3%。實(shí)現(xiàn)了對電氣設(shè)備輕微故障的靈敏切除,可有效避免事故擴(kuò)大造成的重大人員傷亡和財產(chǎn)損失。 技術(shù)發(fā)明點(diǎn)3:站域集中-站間分布式新型保護(hù)系統(tǒng) 構(gòu)建基于故障全過程邏輯量、電氣量信息的新型保護(hù)系統(tǒng)是對百年歷史繼電保護(hù)模式的重大變革,除滿足復(fù)雜電網(wǎng)對繼電保護(hù)的要求外,還需要考慮工程實(shí)現(xiàn)的可行性、應(yīng)用場景的適用性和運(yùn)行維護(hù)的便利性等重大工程應(yīng)用問題。該項目首創(chuàng)了站域集中-站間分布式的新型保護(hù)系統(tǒng)構(gòu)成模式,實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)保護(hù)的有機(jī)銜接,可靈活組態(tài)適用各種電網(wǎng)應(yīng)用場景;發(fā)明了基于時間序列特征和電氣量物理約束的數(shù)據(jù)校核技術(shù)、基于保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的數(shù)據(jù)自適應(yīng)替代技術(shù),為新型保護(hù)系統(tǒng)信息交互提供了可靠保障。 發(fā)明點(diǎn)3.1:首創(chuàng)了站域集中-站間分布式的新型保護(hù)系統(tǒng)構(gòu)成模式,奠定了新型保護(hù)系統(tǒng)在不同電壓等級電網(wǎng)推廣應(yīng)用的基礎(chǔ)。 該項目創(chuàng)建了“站域集中-站間分布式”的新型保護(hù)系統(tǒng)(如圖7所示),實(shí)現(xiàn)了發(fā)明點(diǎn)1和2技術(shù)的工程推廣應(yīng)用。關(guān)鍵技術(shù)包括:1)發(fā)明了以間隔為基本單元的站域集中-站間分布式保護(hù)構(gòu)成模式。間隔單元做到“即插即用”,擴(kuò)展性強(qiáng),可靈活組態(tài)適用各種電網(wǎng)應(yīng)用場景;站域主機(jī)實(shí)現(xiàn)對站內(nèi)信息的融合與優(yōu)化利用;相鄰站域主機(jī)虛擬為變電站間隔單元,實(shí)現(xiàn)站間分布對等交互信息。該模式通信鏈路清晰簡捷,易于工程實(shí)現(xiàn);2)發(fā)明了新型保護(hù)系統(tǒng)與傳統(tǒng)保護(hù)的集成與自適應(yīng)轉(zhuǎn)化技術(shù)。新型保護(hù)系統(tǒng)在傳統(tǒng)保護(hù)基礎(chǔ)上集成故障全過程信息進(jìn)化形成,在故障信息缺失的極端情況下仍具備傳統(tǒng)保護(hù)功能。新型保護(hù)系統(tǒng)可充分傳承傳統(tǒng)保護(hù)成熟的運(yùn)維經(jīng)驗,實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)保護(hù)之間的有機(jī)銜接。 發(fā)明點(diǎn)3.2:發(fā)明了基于時間序列特征和電氣量物理約束的數(shù)據(jù)校核技術(shù)、基于保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的數(shù)據(jù)自適應(yīng)替代技術(shù),保證了新型保護(hù)系統(tǒng)的可靠性。 基于新型保護(hù)系統(tǒng)構(gòu)成模式,發(fā)明了站域、站間信息交互可靠性保障技術(shù),實(shí)現(xiàn)了異常數(shù)據(jù)的實(shí)時校核與缺失數(shù)據(jù)的自適應(yīng)替代。關(guān)鍵技術(shù)包括:1)發(fā)明了基于時間序列特征和電氣量物理約束的數(shù)據(jù)校核技術(shù),在線修正異常采樣數(shù)據(jù),解決了電氣量在采樣或傳輸中出現(xiàn)畸變而影響保護(hù)動作性能的難題;2)發(fā)明了基于保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的數(shù)據(jù)自適應(yīng)替代技術(shù),在間隔單元CT斷線、PT斷線等信息源丟失情況下,通過數(shù)據(jù)互補(bǔ)重構(gòu)實(shí)現(xiàn)缺失數(shù)據(jù)的自適應(yīng)替代,保證了保護(hù)功能的完整性,有效提升了保護(hù)的可靠 四、創(chuàng)新性成果 該項目攻克了傳統(tǒng)保護(hù)不誤動、不拒動無法兼顧的難題,取得了以下關(guān)鍵技術(shù)突破: 1、基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù),保護(hù)最長動作時間縮短至500ms以內(nèi),徹底解決了遠(yuǎn)后備保護(hù)拒動,以及受系統(tǒng)振蕩和過負(fù)荷影響誤動的問題; 2、基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù),顯著提升了保護(hù)對輕微故障的反應(yīng)能力; 3、站域集中-站間分布式新型保護(hù)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了保護(hù)技術(shù)在不同電網(wǎng)場景下的廣泛應(yīng)用。
華北電力大學(xué)
2021-05-10
聚酯
多元
醇、增塑劑等酸醇反應(yīng)連續(xù)化生產(chǎn)新技術(shù)
本技術(shù)采用自主開發(fā)的流場結(jié)構(gòu)化新型立式鼓泡塔式反應(yīng)器,通過特殊的內(nèi)構(gòu)件設(shè)計與 組合,實(shí)現(xiàn)反應(yīng)器內(nèi)氣 (醇) 液 (酸) 呈現(xiàn)鼓泡式逆向流動,反應(yīng)器內(nèi)局部與整體混合狀況均良 好,溫度分布、停留時間及壓降等操作條件可控,有效的耦合了聚酯多元醇或增塑劑生產(chǎn)過程 中酯化反應(yīng)過程和移走副產(chǎn)物小分子的精餾過程,強(qiáng)化了小分子副產(chǎn)物的分離效率,實(shí)現(xiàn)了傳 質(zhì)傳熱和反應(yīng)過程的耦合強(qiáng)化,使過程效率大幅提高。以PEA為例,生產(chǎn)周期可從傳統(tǒng)的20多 小時縮短至6個小時,酸值等即可達(dá)到指標(biāo)要求。該技術(shù)不但節(jié)能降耗,提高產(chǎn)品品質(zhì),還可 滿足柔性化生產(chǎn)要求。其主要技術(shù)特點(diǎn): 1. 流場結(jié)構(gòu)化新型立式鼓泡塔式反應(yīng)器中氣液呈鼓泡式逆向流動,反應(yīng)器內(nèi)局部和整體流 型可調(diào)控,無死區(qū)。 2. 新型立式鼓泡塔式反應(yīng)器采用多段組合的連接方式,拆裝方便,反應(yīng)器內(nèi)物料停留時 間、溫度分布等可調(diào)控,自動化程度高。 3. 連續(xù)化技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,酸值低,水含量低。 4. 該連續(xù)化生產(chǎn)技術(shù)可大幅縮短生產(chǎn)周期,大大減少能耗等。 5. 該連續(xù)化生產(chǎn)技術(shù)適應(yīng)性強(qiáng),操作彈性大,適合多種聚酯多元醇和增塑劑的柔性化生 產(chǎn)。
華東理工大學(xué)
2021-04-13
一種
多元
鈣鈦礦材料及其制備與應(yīng)用
"本發(fā)明公開了一種多元鈣鈦礦材料及其制備與應(yīng)用,其中該多元鈣鈦礦材料為多元全無機(jī)金屬非鉛鹵鹽,并且具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu);所述 多 元 鈣 鈦 礦 材 料 的 化 學(xué) 式 滿 足 : <imgfile=""DDA0001316404480000011.GIF"" wi=""496"" he=""88""/>其中,0≤ x ≤ 1 , 0 ≤ y ≤ 1 , A 為 Cs<sup>+</sup> , B<sup&
華中科技大學(xué)
2021-04-14
用于預(yù)測
多元
拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測方法
一種用于預(yù)測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測方法 一、項目分類 顯著效益成果轉(zhuǎn)化 二、成果簡介 現(xiàn)有物理氣相沉積(PVD)制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源,生產(chǎn)過程中,薄膜成分的調(diào)控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預(yù)期獲得納微復(fù)雜結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜,按照常規(guī)技術(shù)路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材,這顯然是無法實(shí)現(xiàn)的。同時,采用合金靶材制備某些多元薄膜時,需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源,這類特殊靶材以現(xiàn)有技術(shù)難以制造。 為此,本發(fā)明研發(fā)出一種用于預(yù)測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測方法,利用本發(fā)明技術(shù)有助于新材料的研發(fā)和促進(jìn)半導(dǎo)體器件、切削刀具涂層等高新技術(shù)的發(fā)展。
武漢理工大學(xué)
2022-08-12
高效可轉(zhuǎn)位刀具
多元
復(fù)合膜涂層設(shè)備及技術(shù)
項目簡介: 隨著機(jī)械工業(yè)的發(fā)展和自動化水平的提高, 數(shù)控機(jī)床的普及, 對工具和耐磨件的要求越來越高。同時隨著生活水平的提高, 鐘表等飾品的外觀要求越來越高。國內(nèi)外都大
西華大學(xué)
2021-04-14
一種
多元
物質(zhì)原子層沉積膜制備方法及裝置
本發(fā)明公開了一種多元物質(zhì)原子層沉積膜制備方法和裝置,所 述方法,即使基片相對于原子層沉積反應(yīng)腔直線運(yùn)動,依次通過其內(nèi) 用于完成不同原子層沉積的原子層沉積系統(tǒng),基片通過每個原子層沉 積系統(tǒng)時:調(diào)整基片溫度為相應(yīng)原子層沉積反應(yīng)最適溫度。所述裝置, 包括原子層沉積反應(yīng)腔、基片承載臺、運(yùn)動平臺和溫度控制裝置;原 子層沉積反應(yīng)腔依次設(shè)置有多個原子層沉積系統(tǒng);基片承載臺,設(shè)置 在原子層沉積反應(yīng)腔下方;運(yùn)動平臺,與基片承載臺連接,帶動基片 承載臺運(yùn)動;溫度控制裝置,設(shè)置在基片承載臺下方。所述方法能高 效快速的制備多元物質(zhì)原子層沉積膜,所述裝置,能方便的通過現(xiàn)有 原子層沉積系統(tǒng)組裝,兼容性強(qiáng),功耗低,沉積效率高。
華中科技大學(xué)
2021-04-11
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