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用于非球面測量的波長掃描干涉儀及方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
干涉儀
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種用于非球面測量的波長掃描干涉儀及方法，包括一套可調(diào)諧激光器作為光源，一個(gè)泰曼—格林干涉儀用于產(chǎn)生干涉條紋，一個(gè)平移臺(tái)用于沿光軸掃描光程差，一個(gè)用于將干涉數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào)并傳入計(jì)算機(jī)的圖像卡，以及一個(gè)用于同步CCD相機(jī)和平移臺(tái)動(dòng)作的數(shù)據(jù)卡。與傳統(tǒng)非球面測量方法不同的是，本干涉儀適用范圍廣，可以測量大非球面度的表面或波前，且無需補(bǔ)償零位鏡。另外，該方法無需復(fù)雜且通常較為昂貴的多維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
項(xiàng)目階段:
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