CdTe薄膜的表面腐蝕及用此法制備CdTe太陽電池,屬于半導體器件加工領域。采用硝酸、冰乙酸、NaAc和去離子水的混合液作為腐蝕液,其中,NaAc作為緩沖劑,以保持溶液的pH值不變,使反應更穩定,通過CdTe和硝酸發生反應生成富碲層;清洗吹干后,沉積含Cu或不含Cu背接觸層,最后沉積背電極以制備CdTe太陽電池。沉積背接觸材料,可增加pn結附近的載流子濃度,降低肖特基勢壘高度,避免直接沉積Cu形成比較復雜的CuxTe結構。采用這種方法腐蝕并制備CdTe太陽電池,可顯著提高太陽電池的性能,并保證器件性能的穩定性和重復性。
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