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一種扭擺平移式微機電磁場傳感器
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
電磁場傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種用于測量磁場方向的微機電系統磁場傳感器，包括從下向上依次疊加設置的襯底、底電極層、犧牲層、氧化硅層及金屬層，犧牲層的中部空心，氧化層的中部為扭轉板，金屬層的頂面設有錨區，金屬層位于扭轉板上方；扭轉板的上方設置第一電容、第二電容，第三電容和第四電容，扭轉板的頂面布設有第一電容引線、第二電容引線、第三電容引線，第四電容引線和沿扭轉板邊緣布設的金屬線；金屬線的兩端分別與一個焊盤連接；底電極層與金屬層連接；在氧化硅層的邊部上方設置焊盤，金屬層與焊盤連接。該磁場傳感器結構簡單，可以實現磁場方向以及幅度的測量。
項目階段:
產業化應用
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