專利內容是本發明針對背景技術存在的缺陷,提出了一種釔鐵石榴石單晶薄膜及其液相外延制備方法,本發明得到的釔鐵石榴石單晶薄膜的鐵磁共振線寬很窄,達到了1Oe以下(0.4Oe),薄膜表面的粗糙度、晶格匹配、應力、含鉛量、雜相等都得到了較大的改善。