FED是目前在研的幾種平板顯示器中的一種,也是唯一能夠保持 傳統(tǒng)陰極射線管顯示器(Cathode Ray Tube Display,簡(jiǎn)稱CRT)高顯示 質(zhì)量的新型平面顯示技術(shù)。在家用電視機(jī)、電腦顯示器、車用顯示器、工業(yè)監(jiān)視器、 醫(yī)療儀器設(shè)備、軍事、航天等領(lǐng)域有重要應(yīng)用前景。特別是FED具有比現(xiàn)有的平板顯示技術(shù)更高的抗惡劣 環(huán)境的能力,在軍事、航天等方面有重要的應(yīng)用前景。針尖型冷陰極的FED制作成本昂貴,而采用納米線 冷陰極,具有制備方法簡(jiǎn)便、電學(xué)性質(zhì)可控等優(yōu)點(diǎn)。 本技術(shù)成果采用自組織生長納米線冷陰極結(jié)合微加工薄膜工藝制作高分辨率的FED,在納米冷陰極可 控生長及其柵極微結(jié)構(gòu)集成、納米冷陰極FED器件封裝等關(guān)鍵技術(shù)取得突破。掌握了從材料、器件結(jié)構(gòu)、 制作工藝到驅(qū)動(dòng)技術(shù)的完整的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系,自主建立起納米冷陰極FED的整套工藝線及其工藝。本技術(shù) 成果在大面積玻璃襯底上實(shí)現(xiàn)了高精細(xì)定位生長納米冷陰極;研制出可用于高分辨率FED的柵極結(jié)構(gòu)納米 冷陰極電子源陣列;開發(fā)出了納米線冷陰極FED器件的真空封裝技術(shù);建立起納米冷陰極FED工藝流程; 研制出柵極結(jié)構(gòu)納米冷陰極FED樣機(jī)。