技術成熟度:技術突破
日盲紫外光電探測器具有優異的抗干擾能力和高溫穩定性,在導彈預警、火焰探測等軍事和民用領域有廣泛的應用。氧化鎵(Ga2O3)材料因合適的帶隙寬度(4.4-5.3eV)和良好的熱力學和化學穩定性成為制備日盲紫外探測器的理想材料。盡管氧化鎵基日盲紫外探測器已經取得顯著進展,但提升探測器性能、優化器件結構以及實現商業化應用仍面臨著挑戰。研發團隊針對Ga2O3探測器響應度低、光譜選擇型差和響應時間慢的問題,利用金屬有機物化學氣相沉積方法和范德華外延方法制備了Ga2O3單晶薄膜,并構建了異質結型和肖特基型探測器,器件在零偏壓下響應度高于0.1 A/W,紫外/可見抑制比>104,響應上升/下降時間為微秒量級,探測性能處于國際前列水平。
意向開展成果轉化的前提條件:中試放大及產業化工藝開發資金支持
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