本發(fā)明公開了一種石墨烯片上可調(diào)電感及其制造方法,包括石墨烯線圈層、絕緣介質(zhì)層、電極控制
層、以及襯底,石墨烯線圈層為片上電感的主體部分,設(shè)于襯底上方;絕緣介質(zhì)層覆蓋在石墨烯線圈層
上;電極控制層位于絕緣介質(zhì)層上并處于石墨烯線圈正上方;通過電極控制層在石墨烯線圈上施加可變
柵壓,石墨烯線圈層的電感值隨之發(fā)生改變;首先在催化膜上生長出層狀石墨烯;然后將層狀石墨烯轉(zhuǎn)
移至襯底上;將石墨烯膜圖形化成石墨烯電感線圈;在石墨烯電感線圈上淀積一層的絕緣介質(zhì)層
掃碼關(guān)注,查看更多科技成果