本發(fā)明公開(kāi)了一種光柵信號(hào)仿真發(fā)生器,它包括控制、通信、 信號(hào)產(chǎn)生、相位偏移、直流偏移、噪聲產(chǎn)生、波數(shù)控制和 D/A 轉(zhuǎn)換模 塊。信號(hào)產(chǎn)生、相位偏移和直流偏移模塊依序連接,產(chǎn)生參數(shù)可調(diào)的 信號(hào);再與噪聲產(chǎn)生模塊疊加后到波數(shù)控制模塊;D/A 轉(zhuǎn)換模塊將數(shù) 字信號(hào)轉(zhuǎn)為模擬信號(hào)輸出;控制模塊經(jīng)通信模塊與信號(hào)產(chǎn)生、相位偏 移、直流偏移、噪聲產(chǎn)生和波數(shù)控制模塊相連,以實(shí)現(xiàn)控制功能。本 信號(hào)發(fā)生器能模擬光柵和激光干涉位移測(cè)量的實(shí)際情況,輸出兩路頻 率、幅值、相位、波形個(gè)數(shù)和直流偏移均
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