本發(fā)明屬于柔性器件制造相關(guān)領(lǐng)域,并公開了一種具備電場自 適應(yīng)特性的柔性電子電噴印設(shè)備,其包括 XYZ 三軸運(yùn)動(dòng)模塊、電噴印 模塊和可變電場模塊,其中該XYZ三軸運(yùn)動(dòng)模塊用于控制電噴印模塊 與可變電場模塊的空間位置,進(jìn)而控制陣列噴嘴的位置;該電噴印模 塊用于噴出高速帶電溶液到基板上制備柔性電子,該可變電場模塊則 用于提供可變化的電場,進(jìn)而由電場控制陣列噴嘴噴出的液滴或射流 在基板上的落點(diǎn)。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的工藝方法。通過本發(fā)明,整 個(gè)柔性電子制造工藝過程可實(shí)現(xiàn)電場的自適應(yīng)協(xié)調(diào),并
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