本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)緊湊的磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu),屬于超精密減振領(lǐng)域。該磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)包括機(jī)架部分、負(fù)剛度調(diào)整部件、柔性導(dǎo)向部件和運(yùn)動部件。該負(fù)剛度機(jī)構(gòu)是利用磁鐵反向布置的排斥作用形成負(fù)的剛度特性,且負(fù)剛度大小可通過負(fù)剛度調(diào)整部件調(diào)節(jié)。該磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)與正剛度彈簧并聯(lián)組成的超低頻減振器具有極低的動態(tài)剛度,大幅度地降低了其固有頻率,使得減振器不僅對高頻振動干擾具有良好的隔振效果,還能有效地隔離超低頻振動,適用于對振動敏感的超精密加工與測量設(shè)備。
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