本發明提供了一種結構緊湊的三自由度超低頻減振器,屬于精密減振領域。該減振器在空間三個自由度上分別利用正負剛度并聯的原理實現超低頻減振,在保證系統承載力的同時可以極大地降低系統的剛度,實現超低的固有頻率。本發明所提供的三自由度超低頻減振器在 z 向采用磁正剛度和磁負剛度并聯的方式,x 和 y 向采用片彈簧和磁負剛度并聯的方式,整體結構更加緊湊,具有極低的固有頻率,不僅對中高頻振動干擾具有良好的減振效果,更可以有效地抑制低頻和超低頻振動,適用于對振動敏感的精密加工與測量設備。
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