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一種激光快速分離光學晶體方法及裝置
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
光學晶體
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種激光快速分離光學晶體方法，該方法先利用
超快激光或微型金剛石砂輪對光學晶體進行分離方向設置，在分離開
始端形成一條方向沿待分離路徑的預制微裂紋；再利用聚焦激光對預
制微裂紋進行掃描加熱，形成激光誘導微裂縫；沿著待分離路徑快速
移動聚焦激光，直至激光移動速度與裂縫擴展速度相同，使聚焦激光
始終跟隨著微裂縫最前端，并使微裂縫兩側材料發生熱膨脹效應，在
微裂縫尖端產生前向擠壓和側向拉應力，將晶體材料拉開，最
項目階段:
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