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一種用于制作原子層沉積膜的可拆卸噴頭及裝置

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.a00n.com
關鍵詞: 噴頭
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項目成果/簡介:

本發明公開了一種用于制作原子層沉積膜的可拆卸噴頭及裝置。用于制作原子層沉積膜的噴頭,包括進氣管路、進氣口和出氣口;所述進氣口內部為空腔;所述出氣口內部形成空腔,分為上半部分和下半部分,其上半部分與下半部分之間設有漏斗形結構;進氣管路與進氣口固定連接,進氣口與出氣口可拆卸密閉連接。用于制作原子層沉積膜的裝置,包括所述噴頭、腔體支撐架、基片承載臺和運動平臺,腔體支撐架中間形成長條狀鏤空,可順序設置多個可拆卸噴頭,基片承載臺設置在墻體支撐架下方,運動平臺帶動基片承載臺。本發明能適應不同的原子層沉積反應,通

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未應用
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