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一種多路液體溫度調(diào)節(jié)裝置及溫度控制方法

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 溫度調(diào)節(jié)
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一種多路液體溫度調(diào)節(jié)裝置及其溫度控制方法,屬于液體溫度調(diào)節(jié)裝置及其溫度控制方法,解決現(xiàn)有光刻機(jī)浸沒液溫度調(diào)節(jié)控制裝置只具有一路輸出的溫度控制能力以及不能協(xié)同調(diào)節(jié)遠(yuǎn)端、近端供水溫度的問題。本發(fā)明的溫度調(diào)節(jié)裝置,包括純水供應(yīng)部分、注液部分和控制系統(tǒng),純水供應(yīng)部分放置于遠(yuǎn)端的純水設(shè)備內(nèi),注液部分放置于光刻機(jī)內(nèi)部;純水供應(yīng)部分和注液部分之間通過遠(yuǎn)傳管路連接;控制系統(tǒng)分別采集純水溫度傳感器、供水溫度傳感器、第一~第三溫度傳感器的溫度值;并對(duì)第 1~第 3 加熱器的加熱電壓進(jìn)行控制,同時(shí)對(duì)冷卻水流量伺服閥的驅(qū)動(dòng)

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