一種高功率大帶寬鍺硅光電探測器

人工智能

本發明公開了一種高功率大帶寬鍺硅光電探測器。該探測器是

模擬光子通信系統和微波光子系統中的硅基關鍵集成光電子器件，其

特征在于包括多個并聯鍺層結構和電感。多個并聯的鍺層結構的多個

鍺層尺寸是可以不同的，以實現對寄生電阻的調控，在提高器件飽和

功率的同時保持了寄生參數不至顯著增加。同時，通過引入片上和片

外電感，實現對器件寄生電感的調控，抬升器件高頻處頻率響應，提

升器件工作帶寬。本發明提出的光電探測器采用集總電極結構

未應用