本發明涉及一種硅薄膜太陽電池集成組件,它的結構和制備技術,特別是具有氧化鋅(ZnO)背反射電極的硅薄膜太陽電池集成組件及其制備技術。而ZnO背反射電極是硅薄膜太陽電池陷光結構的重要組成部分,可大幅提高電池效率。它涉及硅薄膜太陽電池集成組件的關鍵工藝——子電池內聯集成技術,屬于新型能源中薄膜太陽電池的技術領域。本發明采用掩膜蒸鍍金屬電極,結合濕法腐蝕ZnO的方法,實現具有ZnO背反射電極的硅薄膜太陽電池子電池的內聯集成技術,最終獲得硅薄膜太陽電池集成組件。該方法簡單、成品率高、成本低,有利展示硅薄膜太
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