一種單分散氧化鎵粉體及其高密度陶瓷靶材的制備方法 發明專利/實用新型/:發明授權 簡介:本發明公開了一種單分散氧化鎵粉體及其高密度陶瓷靶材的制 備方法,其將純度為 99.99%以上的金屬鎵原料溶解于酸中,配制澄清 的鎵鹽溶液,加入沉淀劑產生沉淀物,將獲得的沉淀經洗滌、過濾、 干燥、煅燒制成單分散超細氧化鎵粉體;用合成的單分散氧化鎵粉體 作為原料,經模壓成型和冷等靜壓強化獲得氧化鎵生坯,將生坯放在 高溫爐