本發明涉及金屬材料加工技術領域,具體涉及一種高擇優取向細晶超高純鋁靶材的制備方法。包括以下步驟:將超高純鋁板材于50℃~300℃下熱軋,道次壓下量控制在40%~50%;將熱軋后的超高純鋁板材在100~300℃溫度下保溫0~1小時;然后進行冷軋,道次壓下量控制在40%~50%,通過對板材進行道次間空冷、水冷以及冰水冷卻控制板材軋制過程的溫升,抑制板材的