主要研究內容 全方位離子注入技術克服了傳統束線離子注入直射性限制,能夠在復雜形狀零件表面獲得具有強膜基結合力和優良表面性能的改性層,在零件表面強化處理領域具有廣泛的應用前景。目前,該項技術已經獲得了兩項國家發明專利,獲得了兩次國防科工委國防科技進步二等獎,能夠實現軸承,齒輪,特種心軸等復雜形狀零件的批量處理。主要技術指標 真空室體積:1m3;本底真空度:<1×10-4Pa。 金屬等離子體源最大沉