本發明的固支梁直接加熱在線式已知頻率微波相位檢測器由六端口固支梁耦合器,微波相位檢測器,直接加熱式微波功率傳感器;六端口固支梁耦合器由共面波導,介質層,空氣層和固支梁構成;共面波導制作在SiO2層上,固支梁的下方沉積介質層,并與空氣層,固支梁共同構成耦合電容結構,兩個固支梁之間的共面波導長度為λ/4;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同,待測信號經六端口固支梁耦合器的第一端口輸入,由第三端口和第五端口輸出到直接加熱式微波功率傳感器,由第四端
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