本發明的硅基已知頻率縫隙耦合式直接式毫米波相位檢測器是由共面波導傳輸線、縫隙耦合結構、移相器、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構成,整個結構基于高阻Si襯底制作,一共設置有四個縫隙耦合結構,上方的兩個縫隙耦合結構連接著兩個直接式熱電式功率傳感器,下方的兩個縫隙耦合結構實現信號的相位測量,在前后縫隙之間設置有一個移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波導傳輸線、非對稱共面帶線和一個隔離電阻組成;直接式熱電式功率傳感器主要由共面波
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