采用激光反射和散射測量原理,激光照射被測物,經(jīng)被測物表面反射和散射的光由探測頭內(nèi)部的硅光電池接收,再經(jīng)電路處理由軟件將接收到的信號值轉(zhuǎn)換為Ra,即被測物的表面粗糙度。
儀器屬于非接觸測量,不會對產(chǎn)品表面造成破壞;可消除在高級別粗糙度測量時測尖無法進(jìn)入谷底而帶來的測量誤差,特別適用于對超精加工后工件表面粗糙度的測量,以及內(nèi)孔內(nèi)壁的測量;非機(jī)械測量,不會有探針的損耗,降低了使用成本;可靠性、重復(fù)性高;采用數(shù)值標(biāo)定,同一類平面只需標(biāo)定一次,不需要重復(fù)標(biāo)定,降低了標(biāo)定成本,并且提高生產(chǎn)效率;由于激光的相干性好,測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,免去了一般光源干涉測量儀器視場過小帶來的諸多不便。
儀器操作簡單,可用于平面和圓柱面等多種被測材料,如:金屬、塑料、陶瓷以及磁性介質(zhì)等的測量,LCD直觀顯示。
主要性能指標(biāo):
測量范圍:0.01mm~0.1mm
重復(fù)性:測量值的±1.0%
準(zhǔn)確度:±0.006mm
光點(diǎn)直徑:f3mm
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