在國家自然科學基金等項目資助下,本課題組在2003年成功研制出基于立體視覺的顯微操作裝配工作站,主要用于對微小物體進行操作和微小系統的裝配,已推廣到臺灣大學等地區使用,近年來結合不同領域用戶實際需求,不斷改進,顯著改善了系統的可靠性、模塊化、靈活性、控制軟件智能化程度,拓寬了本技術的應用范圍,在多種微納器件和系統的集成制造中發揮了重要作用。系統具有圖像采集、圖像獲取,三維成像、三維測量、微小系統裝配、微小零件在線修磨等,還可以根據用戶具體要求定制特殊功能。系統配置可根據用戶要求選配,一種典型的配置如下:高倍立體顯微成像系統、微操作器、數控微位移工作臺、彩色CCD攝像機、高速圖像采集及立體顯示卡、高分辨率顯示器、微型計算機以及可選操縱單元(夾持器、真空吸盤、噴涂裝置等)等。具有動靜態彩色立體成像及顯示。
系統典型技術參數如下:光學分辨率水平方向最高可達到500nm,深度方向分辨率最高可達到80nm,立體視覺的深度分辨率為10um,X/Y每軸運動范圍:50mm,Z軸運動范圍:25mm,運動分辨率:1μm(per step),自動引導重復定位精度:±3μm;具有操作自動尋位、自動避障功能;有真空吸附與夾鉗式拾取器(操作手);具有空間位置測量及相對距離測量功能,圖像處理與分析功能、可以實現存儲、打印等操作。
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