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微納米結(jié)構(gòu)噴印成型系統(tǒng)

2021-04-13 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 噴印系統(tǒng)
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項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:

此成果主要是進(jìn)行先進(jìn)材料的微納結(jié)構(gòu)成型。利用液體在電場(chǎng)力作用下可以形成大頸縮比(噴嘴與液體射流直徑比可達(dá) 106:1 )的精細(xì)穩(wěn)定射流(納米級(jí))特性,創(chuàng)新性提出電流體射流微納米噴印成型方法,建立了高精度二維及三維電流體射流微納米噴印成型系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了各種功能材料及復(fù)合材料高精度微結(jié)構(gòu)成型。此方法的提出與應(yīng)用實(shí)現(xiàn)了寬內(nèi)徑針頭(幾百微米)直寫高精度結(jié)構(gòu)(幾微米)的成型工藝,克服了傳統(tǒng)噴印技術(shù)依靠降低針頭內(nèi)徑尺寸來(lái)提高成型結(jié)構(gòu)精度(噴墨打印等)的難題。此方法具有成型精度高、可控性強(qiáng)、材料適應(yīng)性廣的顯著優(yōu)點(diǎn),在先進(jìn)材料微納結(jié)構(gòu)成型方面具有巨大優(yōu)勢(shì)。在此基礎(chǔ)上,完成了高頻厚膜壓電超聲波傳感器的制作,去除了傳統(tǒng)壓電厚膜微結(jié)構(gòu)制作過程中的刻蝕工藝,提高了結(jié)構(gòu)精度,提高了材料性質(zhì)、簡(jiǎn)化了制作工藝。

項(xiàng)目階段:
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
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