? 成果簡(jiǎn)介:所研制的微小型零件顯微視覺檢測(cè)系統(tǒng),適用于各種塊類、板類微小型零件及小模數(shù)微小型直齒輪的任意邊緣的微米級(jí)精度測(cè)量和微結(jié)構(gòu)在線快速測(cè)量。
? 技術(shù)指標(biāo):X/Y方向測(cè)量范圍:0.01mm-50mm;Z方向測(cè)量范圍:0.01mm-100mm;X/Y方向位置檢測(cè)分辨率:0.05mm;X/Y方向測(cè)量精度:(1+1000/L)mm;可進(jìn)行模數(shù)≤0.2mm微小型模數(shù)直齒輪的基本參數(shù)、幾何尺寸、主要單項(xiàng)誤差和綜合誤差測(cè)量。榮獲國(guó)防科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)1
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