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一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置和方法

2021-01-12 00:00:00
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所屬領(lǐng)域:
先進(jìn)制造與自動(dòng)化
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:

本發(fā)明公開了一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置,包括:反 應(yīng)腔,其內(nèi)部形成的空腔用于作為前驅(qū)體與微納米顆粒的反應(yīng)空間; 多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置,其分別通過管道與所述反應(yīng)腔相通以提供不同的前驅(qū)體;載氣輸送系統(tǒng),前驅(qū)體通過該載氣輸送系統(tǒng)輸出的載氣輸 送到反應(yīng)腔中;以及粉體顆粒裝載裝置,用于承載待修飾的微納米顆 粒;通過多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置分別向反應(yīng)腔交替地輸送前驅(qū)體,并進(jìn) 入旋轉(zhuǎn)的粉體顆粒裝載裝置中以與微納米顆粒表面接觸進(jìn)行原子層沉 積反應(yīng),從而在微納米顆粒的表面形成包覆薄膜,實(shí)現(xiàn)表面修飾。本 發(fā)明還公開了利用

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