本發明提供了一種結構緊湊的超低頻精密主動減振器,屬于超精密減振領域。該超低頻精密主動減振器由負剛度機構與空氣彈簧并聯組成被動減振單元,由洛倫茲直線作動器構成主動減振單元。負剛度機構是由片彈簧、鉸鏈和剛性桿等組成的壓桿結構。負剛度機構安裝在空氣彈簧的腔室內部,使減振器結構更加緊湊。正負剛度并聯使得減振器具有大的承載力的同時具有極低的剛度,大大地降低了其固有頻率。洛倫茲直線作動器用于提供主動阻尼,實現主動控制。本發明所提供的超低頻精密主動減振器具有極低的固有頻率,不僅對高頻振動干擾具有良好的隔振效果,還
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