研發(fā)階段/n內(nèi)容簡(jiǎn)介:納米線(xiàn)碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管涉及一種新型功率半導(dǎo)體器件制造技術(shù)。結(jié)合微電子技術(shù)工藝,構(gòu)造用納米線(xiàn)碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管。它具有高速、耐苛刻環(huán)境、低導(dǎo)通電阻等一系列特點(diǎn),廣泛用于數(shù)字電子技術(shù)等領(lǐng)域。本產(chǎn)品獲得一項(xiàng)專(zhuān)利,專(zhuān)利號(hào):200510018701.9。
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