本發明公開了一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法,屬于化學功能材料領域。該制備方法以三異丙醇氧釩為溶質制備前驅液,將所得前驅液涂于藍寶石襯底制備前驅物薄膜,最后將前驅物薄膜置于真空環境中燒制而成。本發明在液相法的基礎上,通過控制真空燒結條件制備二氧化釩薄膜,所獲得的薄膜均具有良好的生長取向,相變溫度為60°C左右,相變前后電阻率的變化在三個量級以上;且制備工藝簡單,適合大范圍推廣。