項目成果/簡介:等離子體被稱為是除固、液、氣三態以外的第 4 種物形態,它是由電子、離子、自由基和中性粒子組成的呈電中性的導電性流體,一般分為熱等離子體(平衡等離子體)和低溫等離子體(非平衡等離子體),低溫等離子體技術在半導體工業、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領域被廣泛應用,通常是采用加熱或放電的手段產生. 自然界中等離體產生的方