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西安交通大學
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半導體集成電路生產工藝監測設備

2021-01-12 00:00:00
云上高博會 http://www.a00n.com
關鍵詞: 半導體
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

CSM4A系列多功能C-V測試系統,經國家“七五”、“八五”兩屆重點科技攻關,已在我校研制成功,并被多個半導體集成電路生產廠家和研究所使用。該項目由陳光遂教授主持完成。原電子工業部鑒定認為:該C-V測試系統具備八項測試功能,數據可靠,實用性強,人機界面良好。總體水平已達到九十年代國際先進水平,并有獨創性,可以替代進口設備。主要測試功能有:MOS高頻CV,M

項目階段:
產業化應用
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