本發(fā)明公開(kāi)了一種復(fù)合波片光軸對(duì)準(zhǔn)方法及裝置。將待對(duì)準(zhǔn)復(fù)合波片的兩片晶片裝在支架上之后分別安裝在固定、旋轉(zhuǎn)波片卡盤(pán)上;從光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)起偏器后形成線偏振光;通過(guò)待對(duì)準(zhǔn)的復(fù)合波片后,線偏振光偏振態(tài)發(fā)生變化;根據(jù)探測(cè)器探測(cè)到的透射光強(qiáng)信號(hào)可進(jìn)一步獲得待對(duì)準(zhǔn)復(fù)合波片相位延遲波動(dòng)量的變化幅值;比較相位延遲波動(dòng)量的變化幅值的相對(duì)大小;通過(guò)電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)控制旋轉(zhuǎn)波片卡盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng),直至將復(fù)合波片的光軸對(duì)準(zhǔn)到所要求的精度范圍內(nèi)。裝置包括光源,起偏器,固定波片卡盤(pán),旋轉(zhuǎn)波片卡盤(pán),旋轉(zhuǎn)檢偏器,探測(cè)器,電控旋轉(zhuǎn)臺(tái),計(jì)算機(jī),步進(jìn)電機(jī)和電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)控制器。該方法可以實(shí)現(xiàn)對(duì)復(fù)合波片光軸進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn),裝置簡(jiǎn)易,操作簡(jiǎn)單。
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